微操作低溫和真空探針臺系統(tǒng)，用于從3.5K到675 K溫度范圍的芯片、晶圓和器件測試。
Janis微操作探針臺用于DC，RF和光纖探針的無損電氣測試。它們在半導(dǎo)體、MEMS、超導(dǎo)、電子、鐵電、材料科學(xué)、物理學(xué)和光學(xué)等各個領(lǐng)域都非常有用。 LHe / LN2或機械閉循環(huán)制冷機均可制冷。不同的模型將樣品放置在超高真空（UHV），超高溫（至675 K）和磁場中。
柔性探針針尖
Janis Research的低溫探針臺新技術(shù)具有特殊的柔性探針針尖，能夠在變溫測量過程中吸收探針臂的熱漂移運動。
微型、可移動的樣品真空腔
Janis還提供了一個微型、可移動的樣品真空腔，能夠需要在空氣中移動的過程中將樣品保持在真空狀態(tài)。 真空腔可用于在真空下將晶片/基底從具有特殊環(huán)境的手套箱中轉(zhuǎn)移到真空或低溫微操作探針臺（或真空腔）中，然后在進(jìn)行準(zhǔn)備完成或者測試后轉(zhuǎn)移回手套箱中?？梢苿诱婵涨辉谘b載和卸載時都能保護(hù)晶片/基底免受大氣污染。
與普通的真空加載鎖不同，真空腔具有以下功能和優(yōu)點：
● 直徑為50毫米，厚度為25毫米的標(biāo)準(zhǔn)尺寸
● 無需閥門
● 操作簡單、方便
● 低成本
● 安裝可移動的樣品座時，無需提高低溫探針臺溫度
CCR閉循環(huán)系列探針臺
振動小于1 µm
溫度范圍（安裝了4個探頭臂）從4.5 K到350 K（可選：6.5 K到475 K或6.5 K到675 K）
最多可容納2英寸（51毫米）直徑的晶圓（可選：8英寸[200毫米]）（有關(guān)更多詳細(xì)信息，請參見規(guī)格表）
多達(dá)八個冷卻，易于互換的微操作探針臂
直流至67 GHz的電學(xué)測量
性價比高的LF探針，易于更換
三軸探頭臂的泄漏電流非常低（在1 V時通常為1至2 fA）
非接觸式，非破壞性的Kelvin探針
多頭探針
帶有單模和多模光纖選件的光纖探頭臂
帶有電纜和電線的附加電氣穿通線到樣品區(qū)域
可選的特殊微型真空腔，可將真空狀態(tài)下的樣品從手套箱轉(zhuǎn)移到探針臺
適用于所有單筒望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)組件的精確平移xyz行程平臺
可選的可移動樣品座
客戶定制選件
ST-500系列探針臺
低振動和低位置漂移
溫度范圍為約3.5 K至475 K（可選：8 K至650 K）（取決于探頭）
適用于液氮或液氦
氦氣消耗量小于1 L / h
最多可容納2英寸（51毫米）直徑的晶圓（可選：8英寸[203毫米]）
多達(dá)七個冷卻的、易于替換的微操作探針臂
直流至67 GHz的電學(xué)測量
多種性價比高的LF探針，易于更換
極低的三同軸探針臂漏電電流，僅為幾fA
非接觸式、非破壞性的Kelvin探針
多頭探針
帶有單模和多模光纖選件的光纖探頭臂
通過樣品架的可選光學(xué)通道，用于透射測量
到樣品區(qū)域的帶有電纜的附加電氣饋通
可選的特殊微型真空室，可將真空下的樣品從存儲箱安裝到探針臺
適用于所有單筒顯微鏡系統(tǒng)組件的非常平穩(wěn)的x-y-z行程平臺
可選的可移動樣品座
客戶定制選件
在為現(xiàn)有的“濕式”探針臺尋找無制冷劑的選擇嗎？可選的循環(huán)氣體制冷機消除了在“濕式”系統(tǒng)中使用液氦的麻煩。
