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P-III 表面塵埃粒子計數(shù)器

參考價 750000
訂貨量 ≥1
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表面塵埃粒子計數(shù)器P-III采用第七代雙激光窄光檢測器,壽命>200000次,通過物理或氣流方式將附著在表面的顆粒重新懸浮,基于激光光學傳感器和光散射原理,實時捕獲懸浮粒子的散射光信號,實現(xiàn)單個粒子尺寸的精確分析。通過量化表面污染數(shù)據(jù),為半導體制造中的過程控制提供標準化依據(jù),從而優(yōu)化生產(chǎn)良率和產(chǎn)品可靠性。

詳細信息 在線詢價

產(chǎn)品參數(shù)

測量粒徑

A 0.3um、2.5um、10um;                                                  B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um;

C0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um;             D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um;

E0,5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um;      F 0.1μm,0.2μm,0.3μm,0.5μm,1.0μm,5.0μm;


表面塵埃粒子計數(shù)器

1、粒徑分布誤差:≤±30%

2、濃度示值誤差:≤±30%

3、重復相對偏差:≤±10%FS

4、重疊誤差:≤5%

5、氣體檢測:可測氣體濃度(可選配)

6、溫度范圍:-40 ~ 120℃

7、檢定標準:ISO14644-1或 JJF1190

8、氣泵流速:2.83L/min,28.3L/min(可選);

9、采樣時間:3、6、9、12、15、30、60秒(可選);

10、檢測模式:數(shù)量模式;質(zhì)量模式; 凈效模式;

11、檢測方式:定時檢測、循環(huán)檢測可設置     

12、報警方式:自定義數(shù)量報警值、質(zhì)量報警值

13、限值報警:RS485信號報警或外接聲光報警器

14、法 規(guī) 性:權(quán)限管控、審計追蹤、電子記錄等

15、合 規(guī) 性:符合ISO 21501-4,JIS B9921

16、通訊接口:RS232、R485、LAN-USB

17、存儲模式:實時、定時存儲可設置;無限制

18、打印模式:可選配微型打印機打印數(shù)據(jù)

19、工作條件:5 ~ 45℃、≤90%RH,無冷凝

20、多種探針可供選擇

表面塵埃粒子計數(shù)器

產(chǎn)品特點

智能化設計與操作體驗

7英寸高分辨率觸控屏:支持實時數(shù)據(jù)可視化與交互操作,簡化流程。

雙電池熱插拔系統(tǒng)?:支持連續(xù)生產(chǎn)場景下的不間斷作業(yè),電池更換無需停機。

USB數(shù)據(jù)接口與軟件升級?:便捷導出檢測報告,并可通過固件更新持續(xù)優(yōu)化性能。

提升制造效率

減少50%自凈時間?:通過量化表面污染數(shù)據(jù),縮短設備維護周期(PM周期),提升產(chǎn)線吞吐量。

延長MTBC:結(jié)合顆??刂撇呗?,關(guān)鍵設備可靠性提升4倍以上。

覆蓋高潔凈場景

半導體制造:晶圓表面、機臺內(nèi)腔等關(guān)鍵區(qū)域的潔凈度驗證。

精密光學與電子:液晶面板、光學鏡片組件、醫(yī)療器械的表面污染控制。

符合國際標準

產(chǎn)品嚴格遵循ISO-14644-9表面粒子控制規(guī)范,為全球半導體廠商提供標準化檢測工具。

表面塵埃粒子計數(shù)器


陜西普洛帝測控技術(shù)有限公司

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手機:15309236700

聯(lián)系人:普洛帝

電話:029-85643484

傳真:029-85643484

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