產(chǎn)品參數(shù)
測量粒徑
A 0.3um、2.5um、10um; B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0）um、10um;
C0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um; D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um;
E0,5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um; F 0.1μm,0.2μm,0.3μm,0.5μm,1.0μm,5.0μm;
1、粒徑分布誤差：≤±30%
2、濃度示值誤差：≤±30%
3、重復相對偏差：≤±10%FS
4、重疊誤差：≤5%
5、氣體檢測：可測氣體濃度（可選配）
6、溫度范圍：-40 ～ 120℃
7、檢定標準：ISO14644-1或 JJF1190
8、氣泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可選）；
9、采樣時間：3、6、9、12、15、30、60秒（可選）；
10、檢測模式：數(shù)量模式；質(zhì)量模式； 凈效模式；
11、檢測方式：定時檢測、循環(huán)檢測可設(shè)置
12、報警方式：自定義數(shù)量報警值、質(zhì)量報警值
13、限值報警：RS485信號報警或外接聲光報警器
14、法 規(guī) 性：權(quán)限管控、審計追蹤、電子記錄等
15、合 規(guī) 性：符合ISO 21501-4，JIS B9921
16、通訊接口：RS232、R485、LAN-USB
17、存儲模式：實時、定時存儲可設(shè)置；無限制
18、打印模式：可選配微型打印機打印數(shù)據(jù)
19、工作條件：5 ～ 45℃、≤90%RH，無冷凝
20、多種探針可供選擇
產(chǎn)品特點
智能化設(shè)計與操作體驗
7英寸高分辨率觸控屏：支持實時數(shù)據(jù)可視化與交互操作，簡化流程。
雙電池熱插拔系統(tǒng)?：支持連續(xù)生產(chǎn)場景下的不間斷作業(yè)，電池更換無需停機。
USB數(shù)據(jù)接口與軟件升級?：便捷導出檢測報告，并可通過固件更新持續(xù)優(yōu)化性能。
提升制造效率
減少50%自凈時間?：通過量化表面污染數(shù)據(jù)，縮短設(shè)備維護周期（PM周期），提升產(chǎn)線吞吐量。
延長MTBC：結(jié)合顆?？刂撇呗?，關(guān)鍵設(shè)備可靠性提升4倍以上。
覆蓋高潔凈場景
半導體制造：晶圓表面、機臺內(nèi)腔等關(guān)鍵區(qū)域的潔凈度驗證。
精密光學與電子：液晶面板、光學鏡片組件、醫(yī)療器械的表面污染控制。
符合國際標準
產(chǎn)品嚴格遵循ISO-14644-9表面粒子控制規(guī)范，為全球半導體廠商提供標準化檢測工具。
