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P-III 普洛帝表面微粒子計(jì)數(shù)器

參考價(jià) 750000
訂貨量 ≥1臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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表面微粒子計(jì)數(shù)器P-III采用先進(jìn)界面技術(shù),通過(guò)物理或氣流方式將附著在關(guān)鍵表面的顆粒重新懸浮,通過(guò)量化表面污染數(shù)據(jù),為半導(dǎo)體制造中的過(guò)程控制提供標(biāo)準(zhǔn)化依據(jù),從而優(yōu)化生產(chǎn)良率和產(chǎn)品可靠性。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

產(chǎn)品特點(diǎn)

智能化設(shè)計(jì)與操作體驗(yàn)

7英寸高分辨率觸控屏:支持實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)可視化與交互操作,簡(jiǎn)化流程。

雙電池?zé)岵灏蜗到y(tǒng)?:支持連續(xù)生產(chǎn)場(chǎng)景下的不間斷作業(yè),電池更換無(wú)需停機(jī)。

USB數(shù)據(jù)接口與軟件升級(jí)?:便捷導(dǎo)出檢測(cè)報(bào)告,并可通過(guò)固件更新持續(xù)優(yōu)化性能。

提升制造效率

減少50%自凈時(shí)間?:通過(guò)量化表面污染數(shù)據(jù),縮短設(shè)備維護(hù)周期(PM周期),提升產(chǎn)線吞吐量。

延長(zhǎng)MTBC:結(jié)合顆??刂撇呗?,關(guān)鍵設(shè)備可靠性提升4倍以上。

覆蓋高潔凈場(chǎng)景

半導(dǎo)體制造:晶圓表面、機(jī)臺(tái)內(nèi)腔等關(guān)鍵區(qū)域的潔凈度驗(yàn)證。

精密光學(xué)與電子:液晶面板、光學(xué)鏡片組件、醫(yī)療器械的表面污染控制。

符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)

產(chǎn)品嚴(yán)格遵循ISO-14644-9表面粒子控制規(guī)范,為全球半導(dǎo)體廠商提供標(biāo)準(zhǔn)化檢測(cè)工具。

普洛帝表面微粒子計(jì)數(shù)器

產(chǎn)品參數(shù)

測(cè)量粒徑:

A 0.3um、2.5um、10um;                            B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um;

C0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um;         D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um;

E0,5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um;     F 0.1μm,0.2μm,0.3μm,0.5μm,1.0μm,5.0μm;

1、粒徑分布誤差:≤±30%

2、濃度示值誤差:≤±30%

3、重復(fù)相對(duì)偏差:≤±10%FS

4、重疊誤差:≤5%

5、氣體檢測(cè):可測(cè)氣體濃度(可選配)

6、溫度范圍:-40 ~ 120℃

7、檢定標(biāo)準(zhǔn):ISO14644-1或 JJF1190

8、氣泵流速:2.83L/min,28.3L/min(可選);

9、采樣時(shí)間:3、6、9、12、15、30、60秒(可選);

10、檢測(cè)模式:數(shù)量模式;質(zhì)量模式; 凈效模式;

11、檢測(cè)方式:定時(shí)檢測(cè)、循環(huán)檢測(cè)可設(shè)置     

12、報(bào)警方式:自定義數(shù)量報(bào)警值、質(zhì)量報(bào)警值

13、限值報(bào)警:RS485信號(hào)報(bào)警或外接聲光報(bào)警器

14、法 規(guī) 性:權(quán)限管控、審計(jì)追蹤、電子記錄等

15、合 規(guī) 性:符合ISO 21501-4,JIS B9921

16、通訊接口:RS232、R485、LAN-USB

17、存儲(chǔ)模式:實(shí)時(shí)、定時(shí)存儲(chǔ)可設(shè)置;無(wú)限制

18、打印模式:可選配微型打印機(jī)打印數(shù)據(jù)

19、工作條件:5 ~ 45℃、≤90%RH,無(wú)冷凝

20、多種探針可供選擇

普洛帝表面微粒子計(jì)數(shù)器


陜西普洛帝測(cè)控技術(shù)有限公司

|

手機(jī):15309236700

聯(lián)系人:普洛帝

電話:029-85643484

傳真:029-85643484

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  • 其他
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