1. 產(chǎn)品簡(jiǎn)介
激光干涉儀以光波為載體，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，且可以溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，是迄今的高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)4m/s的測(cè)量速度，以及納米級(jí)的分辨率；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語(yǔ)言，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑?jiǎn)潔化的記錄管理。
SJ6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
2.產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。
其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
二.工作原理
激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測(cè)量光束）則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會(huì)有一個(gè)探測(cè)器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒(méi)有變化時(shí)，探測(cè)器會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。
若光程差有變化時(shí)，探測(cè)器會(huì)在每一次光程變化時(shí)，在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào)，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化。
三. 產(chǎn)品功能特點(diǎn)
SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
● 可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；
● 可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
● 可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測(cè)量；
● 可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；
● 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
● 具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
● 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
● 友好的人機(jī)界面；
● 豐富的應(yīng)用功能模塊；
● 向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/span>
● 簡(jiǎn)潔化的記錄管理；
● 支持中文、英文和俄文界面；
● 支持企業(yè)專屬模板定制。
四. 技術(shù)指標(biāo)
4.1. 技術(shù)指標(biāo)
系統(tǒng)性能
1、測(cè)量方式：?jiǎn)晤l
2、穩(wěn)頻精度：0.05ppm
3、動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz
4、預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘
5、工作溫度范圍：0~40℃
6、環(huán)境溫度范圍：0~40℃
7、存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
1、空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
2、材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
3、空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
4、大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)
線性測(cè)量
1、測(cè)量距離：0-40m
2、測(cè)量精度：0.5ppm (0-40℃)
3、測(cè)量分辨率：1nm
4、測(cè)量速度：4m/sec
角度測(cè)量
1、軸向量程：0-15m
2、測(cè)量范圍：±10°
3、測(cè)量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）
4、測(cè)量分辨率：0.1μm/m
直線度測(cè)量
1、軸向量程：0.1-4.0 m
2、測(cè)量范圍：±2.5 mm
3、測(cè)量精度：±0.5% R±0.5±0.15M2 μm（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）
4、測(cè)量分辨率：0.01μm
垂直度測(cè)量
1、測(cè)量范圍：±3/M mm/m
2、測(cè)量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）
3、測(cè)量分辨率：0.01μm/m
平面度測(cè)量
1、軸向量程：0-15 m
2、測(cè)量范圍：±1.5 mm
3、測(cè)量精度：±0.6% R±0.02 M2 μm/m（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）
4、測(cè)量分辨率：0.1μm
回轉(zhuǎn)軸分度精度測(cè)量
1、角度測(cè)量范圍：0-360°
2、精密轉(zhuǎn)臺(tái)角度增量：5°
3、精密轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度：±1秒
4、精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)性：0.2秒
4.2. 尺寸重量與供電
便攜箱尺寸：560×360×250（基礎(chǔ)系統(tǒng)），560×460×270（完整系統(tǒng)）
基本重量(含三腳架，包裝)：15Kg
供電電源：110~265VAC
5. 系統(tǒng)組件
5.1. 系統(tǒng)組件
1) SJ6000主機(jī)：1臺(tái)
2) 環(huán)境補(bǔ)償單元：1臺(tái)
3) 光學(xué)鏡組：
線性測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（標(biāo)準(zhǔn)配置）
小型線性光學(xué)鏡組：1套（標(biāo)準(zhǔn)配置）
小角度測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（選配）
直線度測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（選配）
垂直度測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（選配）
平面度測(cè)量輔助附件：1套（選配）
回轉(zhuǎn)軸測(cè)量精密轉(zhuǎn)臺(tái)：1套（選配）
4) 測(cè)量軟件：1套
5) 便攜式筆記本電腦：1臺(tái)
6) 便攜式儀器配件箱：1個(gè)
7) 通用三腳架：1個(gè)
8) 云臺(tái)附件：1套
9) 磁性表座：2套
10) 產(chǎn)品使用說(shuō)明書：1套
11) 產(chǎn)品合格證、保修卡：1套
12) 免費(fèi)保修：1年
