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SJ6000激光干涉儀

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產(chǎn)品風(fēng)格:一鍵測量儀 產(chǎn)品簡介:SJ6000激光干涉儀...

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詳情介紹

1. 產(chǎn)品簡介

  激光干涉儀以光波為載體,其光波波長可以直接對(duì)米進(jìn)行定義,且可以溯源至國家標(biāo)準(zhǔn),是迄今的高精度、高靈敏度的測量儀器,在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

  SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時(shí);采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)4m/s的測量速度,以及納米級(jí)的分辨率;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語言,友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑啙嵒挠涗浌芾怼?/span>

  SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

2.產(chǎn)品配置

  SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

  其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

二.工作原理

  激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會(huì)有一個(gè)探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時(shí),探測器會(huì)在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。

  若光程差有變化時(shí),探測器會(huì)在每一次光程變化時(shí),在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào),這些變化會(huì)被計(jì)算并用來測量兩個(gè)光程之間的差異變化。

 

三. 產(chǎn)品功能特點(diǎn)

精度高

  SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

功能廣

  ● 可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;

  ● 可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

  ● 可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測量;

  ● 可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn);

  ● 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);

  ● 具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;

  ● 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

軟件強(qiáng)

  ●  友好的人機(jī)界面;

  ●  豐富的應(yīng)用功能模塊;

  ●  向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/span>

  ●  簡潔化的記錄管理;

  ●  支持中文、英文和俄文界面;

         ● 支持企業(yè)專屬模板定制。

四. 技術(shù)指標(biāo)

4.1. 技術(shù)指標(biāo)

 系統(tǒng)性能

    1、測量方式:單頻

    2、穩(wěn)頻精度:0.05ppm

    3、動(dòng)態(tài)采集頻率:50 kHz

    4、預(yù)熱時(shí)間:5-10分鐘

    5、工作溫度范圍:0~40℃

    6、環(huán)境溫度范圍:0~40℃

       7、存儲(chǔ)溫度范圍:-20℃~70℃


 環(huán)境補(bǔ)償示值誤差

    1、空氣溫度傳感器:±0.2℃ (0-40℃),分辨率0.01℃

        2、材料溫度傳感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃

    3、空氣濕度傳感器:±6% (0-95%)

    4、大氣壓力傳感器:±1mBar (650-1150mbar)

 

   線性測量

    1、測量距離:0-40m

    2、測量精度:0.5ppm (0-40℃)

    3、測量分辨率:1nm

    4、測量速度:4m/sec

 

   角度測量

    1、軸向量程:0-15m

    2、測量范圍:±10°

    3、測量精度:±0.6%R±0.5±0.1M μm/m(M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離,單位:m)

    4、測量分辨率:0.1μm/m

 

   直線度測量

    1、軸向量程:0.1-4.0 m

    2、測量范圍:±2.5 mm

    3、測量精度:±0.5% R±0.5±0.15M2 μm(M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離,單位:m)

    4、測量分辨率:0.01μm

 

   垂直度測量

    1、測量范圍:±3/M mm/m

    2、測量精度:±0.5% R±2.5±0.8M μm/m(M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離,單位:m)

    3、測量分辨率:0.01μm/m

 

   平面度測量

    1、軸向量程:0-15 m

    2、測量范圍:±1.5 mm

    3、測量精度:±0.6% R±0.02 M2 μm/m(M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離,單位:m)

    4、測量分辨率:0.1μm

 

   回轉(zhuǎn)軸分度精度測量

    1、角度測量范圍:0-360°

    2、精密轉(zhuǎn)臺(tái)角度增量:5°

    3、精密轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度:±1秒

    4、精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)性:0.2秒

 

4.2. 尺寸重量與供電

    便攜箱尺寸:560×360×250(基礎(chǔ)系統(tǒng)),560×460×270(完整系統(tǒng))

    基本重量(含三腳架,包裝):15Kg

    供電電源:110~265VAC

 

 5. 系統(tǒng)組件

5.1. 系統(tǒng)組件

1) SJ6000主機(jī):1臺(tái)

2) 環(huán)境補(bǔ)償單元:1臺(tái)

3) 光學(xué)鏡組:

線性測量光學(xué)鏡組:1套(標(biāo)準(zhǔn)配置)

小型線性光學(xué)鏡組:1套(標(biāo)準(zhǔn)配置)

      小角度測量光學(xué)鏡組:1套(選配)

      直線度測量光學(xué)鏡組:1套(選配)

      垂直度測量光學(xué)鏡組:1套(選配)

      平面度測量輔助附件:1套(選配)

回轉(zhuǎn)軸測量精密轉(zhuǎn)臺(tái):1套(選配)

4) 測量軟件:1套

5) 便攜式筆記本電腦:1臺(tái)

6) 便攜式儀器配件箱:1個(gè)

7) 通用三腳架:1個(gè)

8) 云臺(tái)附件:1套

9) 磁性表座:2套

10)  產(chǎn)品使用說明書:1套

11)  產(chǎn)品合格證、保修卡:1套

12)  免費(fèi)保修:1年


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