FTM107-A膜厚監(jiān)控儀
一．FTM107-A膜厚監(jiān)控儀應(yīng)用范圍：
FTM107-A膜厚監(jiān)控儀適用于普通蒸發(fā)、磁控濺射、離子鍍等真空鍍膜厚度測量，通過觸摸屏和數(shù)碼管顯示，使您能獲取完整的沉積數(shù)據(jù)，包括速率、厚度、鍍膜曲線和鍍膜時(shí)間。
FTM107-A膜厚監(jiān)控儀采用的觸摸屏技術(shù)，控制和顯示均通過觸摸屏實(shí)現(xiàn)；同時(shí)配有數(shù)碼管顯示實(shí)時(shí)速率和厚度，以適應(yīng)習(xí)慣數(shù)碼管顯示的技術(shù)人員。到達(dá)設(shè)置厚度，自動關(guān)閉擋板或蒸發(fā)源。采用了更的軟件和硬件設(shè)備，進(jìn)一步提高了儀器抗干擾能力。
二、FTM107-A膜厚監(jiān)控儀技術(shù)特點(diǎn)：
1.全觸摸屏操作顯示，簡單易用；
2.顯示薄膜厚度，可控制二個(gè)擋板/蒸發(fā)源；
3.監(jiān)控鍍膜層數(shù)達(dá)到99層；
4.提供RS232/RS485接口。
三、FTM107-A膜厚監(jiān)控儀技術(shù)參數(shù)：
| FTM107-A監(jiān)控儀 |
晶振頻率 | 6MHz（可選2.5M 3M 5M 9M晶體) |
顯示方式 | 5”彩色觸屏+數(shù)碼管顯示速率和實(shí)厚 |
操作方式 | 觸摸屏 |
厚度范圍 | 0-99μ9999? |
厚度顯示分辨率 | 1? |
速率范圍 | 0-999.9? |
速率顯示分辨率 | 0.1?/s |
鍍膜層數(shù) | 99層 |
探頭數(shù)量 | 4個(gè) |
工具因子 | 0.01-99.99 |
材料存儲 | 257+自定義10種 |
通 訊 | RS232/RS485 |
擋板/源控制 | 2組觸點(diǎn)，到達(dá)厚度關(guān)擋板/蒸發(fā)源 |
鍍膜顯示 | 速率曲線/數(shù)值 |
鍍膜巡回次數(shù) | 99次 |
機(jī)箱尺寸 | 480×280×89mm(2U 19”機(jī)箱) |
四．特殊功能：
（1）具有人工停止鍍膜功能
（2）可顯示鍍膜層、材料和使用晶體振蕩頻率百分比
（3）顯示鍍膜結(jié)束后的監(jiān)測實(shí)厚、材料和層次
