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日立高性能鎢燈絲掃描電鏡SU3500

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日立高性能鎢燈絲掃描電鏡SU3500,采用全新電子光學(xué)和圖像處理系統(tǒng),六偏壓設(shè)計(jì),低壓束流極大增強(qiáng),分辨率提高,寬泛低真空范圍利于觀察更多類型的不導(dǎo)電的樣品,特別是操作系統(tǒng)的自動(dòng)化速度和準(zhǔn)確性,簡單3步即可完成,不僅提高作業(yè)速度,而且方便初學(xué)者操作。

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日立高性能鎢燈絲掃描電鏡SU3500

產(chǎn)品介紹:

SU3500采用全新電子光學(xué)和圖像處理系統(tǒng),六偏壓設(shè)計(jì),低壓束流極大增強(qiáng),分辨率提高,寬泛低真空范圍利于觀察更多類型的不導(dǎo)電的樣品,特別是操作系統(tǒng)的自動(dòng)化速度和準(zhǔn)確性,簡單3步即可完成,不僅提高作業(yè)速度,而且方便初學(xué)者操作。

高畫質(zhì)的鎢燈絲掃描電鏡, 圖象質(zhì)量更進(jìn)一步。

通過高畫質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立科技“匠心”。
SU3500鎢燈絲掃描電鏡具有實(shí)現(xiàn)了“3kV加速電壓7nm分辨率”的全新電子光學(xué)系統(tǒng), 可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”*1, 以及更高檢測效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測器”*1
它為觀察和分析提出了嶄新的標(biāo)準(zhǔn)。
*1:自選

 

日立高性能鎢燈絲掃描電鏡SU3500特點(diǎn):

  • (*2):和日立SEM S-3400N相比低加速電壓觀察時(shí)分辨率更高,可更好地觀察樣品zui表面的細(xì)微形狀和更有效地降低樣品的損壞

  • 全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察

  • 和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比*2,自動(dòng)功能縮短*3了大約11秒

  • 具有在低真空時(shí)可以非常好地觀察樣品zui表面的細(xì)微形狀的“UVD(超高靈敏度可變壓力探測器)”*4

  • 具有實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”*4

(*3):根據(jù)觀察條件的不同,時(shí)間會(huì)有變動(dòng)
(*4):自選

 

規(guī)格:

項(xiàng)目

描述

二次電子分辨率3.0nm(加速電壓=30kV,WD=5mm高真空模式)
7.0nm(加速電壓=3kV,WD=5mm高真空模式)
背散射電子分辨率4.0nm(加速電壓=30kV,WD=5mm低真空模式)
10.0nm(加速電壓=5kV,WD=5mm高真空模式)
放大倍率5 - 300,000倍(底片倍率*5
7 - 800,000倍(顯示器顯示倍率*6
加速電壓0.3 - 30kV
可變壓力范圍6 - 650Pa
zui大樣品尺寸直徑 200mm
樣品臺(tái)X0 - 100mm
Y0 - 50mm
Z5 - 65mm
R360°
T-20° - 90°
可觀察區(qū)域直徑 130mm (旋轉(zhuǎn)并用)
zui大樣品高度80mm(WD=10mm)
馬達(dá)臺(tái)5軸標(biāo)配
電子光學(xué)系統(tǒng)電子槍預(yù)對中的鎢燈絲
物鏡光闌4孔可動(dòng)光闌
探檢測器埃弗哈特 索恩利 二次電子探測器
高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器
EDX分析 WD10mm(取出角35°)
圖像顯示操作系統(tǒng)Windows® 7*7(如有更改,恕不另行通知)
圖像顯示模式全屏模式(1,280 × 960 像素)
小屏模式(800 × 600 像素)
雙圖像顯示(800 × 600 像素)
四屏幕顯示(640 × 480像素)
信號混合模式
排氣系統(tǒng)操作全自動(dòng)排氣
渦輪分子泵210升/秒 × 1
機(jī)械泵135L/min(162L/min,60Hz)× 1

(*2):以127mm×95mm(圖像尺寸4"×5")的顯示尺寸規(guī)定倍率
(*3):以345mm×259mm(像素1,280×960)的顯示尺寸規(guī)定倍率
(*4):Windows®是微軟公司在美國和其他國家的注冊商標(biāo)

 

應(yīng)用領(lǐng)域:

1、 生物醫(yī)學(xué)

2、 食品衛(wèi)生

3、 電子半導(dǎo)體

4、 汽車制造

5、 新能源


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