Film Sense FS-1™多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動式部件橢偏探測器，可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實現快速和可靠地薄膜測量。大多數厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量，就可以獲得非常精密和準確的數據。
Film Sense FS-1™多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動 式部件橢偏探測器，可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實現快速和可靠地薄膜測量。大多數厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量，就可以獲得非常精密和準確的數據。還可以測量大多數樣品的光學常 數和其他薄膜特性。 Film Sense FS-1™多波長橢偏儀 這款功能強大的多波長橢偏儀，售價只是單一波長橢偏儀和光譜橢偏儀的中等水平。FS-1可應用于研究實驗室，超凈間，原位工藝腔體以及工業(yè)質量控制等諸多領域。 4 個 LED 光源：藍色（465nm），綠色（525nm）， 黃色（580nm），紅色（635nm） 橢偏儀探測器中無可移動部件 的膜厚精密性，大多數樣品精密度優(yōu)于 0.001nm（1 秒獲取數據），對于亞單原子薄膜精密度等于0.001nm 集成計算機，可實現對設備控制和數據分析，自帶瀏覽器界面，可兼容任何現代計算機，筆記本或平板電腦 壽命長（長達50,000小時），更換 LED 燈便宜，校準時間短或無需PM程序 快速測量（10ms 內獲得多波長數據）和長期性能穩(wěn)定 測量精確，只有橢偏儀可以實現 軟件設置和維護簡單 65°入射角 手動放置樣品和調節(jié)高度 樣品尺寸直徑200mm 和厚度23mm 樣品偏轉范圍+/-20 樣品上光束尺寸 5 x 12 mm 結構緊湊(180 x 400 mm) 和輕巧(4.8 kg) FS-1多波長橢偏儀擅長測量膜厚范圍 0-1000nm 的透明單一薄膜的厚度和折射率。下表列出的是針對各種不同樣品，包括多層膜樣品，FS-1獲得的標準測量精密度和準確性數據。 半導體行業(yè)：二氧化硅和氮化物，高介電和低介電材料，非晶和多晶材料，硅薄膜，光刻膠 光學薄膜行業(yè)：高和低指數薄膜，如 SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2 等 顯示屏行業(yè)：TCO（如 ITO），非晶硅薄膜，有機薄 膜（OLED 技術） 數據存儲行業(yè)：寶石，如碳膜 工藝研發(fā)：原位表征薄膜沉積（速率和光學常數） VS 工藝條件，可兼容 MBE, MOCVD, ALD 和磁控濺射等設備 化學和生物：在液體細胞實驗中探測亞單原子層材料吸附 工業(yè)：在線監(jiān)測和控制膜厚 亞單原子膜厚精密度 多工藝條件下測定薄膜光學常數 n&k 和沉積速率，不會破壞真空 監(jiān)測和控制多層膜結構沉積 FS-API 界面，外置軟件控制（兼容 LabVIEW™ ） 兼容大多數薄膜沉積技術：磁控濺射，ALD，MBE，MOCVD，電子束蒸發(fā)等 In Situ在線測量 產品包括 FS-1™多波長橢偏儀，帶緊湊自動mapping樣品臺，可以實現快速，準確和可靠的薄膜均勻性測量。 4 段波長的橢偏數據（465, 525, 580, 635 nm），壽命長的LED光源，探測器內無可移動部件 可對 0-1000nm 透明薄膜進行準確的厚度測量 標準濃厚重復性 0.015 nm 集成聚焦探針，標準光斑尺寸 0.8 x 1.9 mm （其他尺寸 可選） 電動 Z 軸樣品臺自動準直 靈活掃描圖案編輯器 測量參數等值線繪制 樣品上光束尺寸減小到 0.8 x 1.9 mm 或 0.3 x 0.7 mm 聚焦光束檢測系統(tǒng)包括一個 FS-1 多波長橢偏儀，帶光束聚焦光學器件和一個手動位移臺。該系統(tǒng)非常適合用于手動檢測和在圖案化半導體晶圓上進行質量控制測量。 可進行科研測量，帶小尺寸光斑和相機成像功能 手動位移臺，可容納 4’，5’，6’晶圓 樣品上光束尺寸 0.3 x 0.7 mm 樣品上光束位置視頻圖像 標準晶圓 map 時間：60s（150mm 晶圓上取 49 個點） 結構緊湊：600x600 mm, 16 kg 樣品臺行程（X,Y）：150 x 150 mm, 精度：5 μm 標準晶圓 map 時間：90s（300mm 晶圓上取 49 個點） 結構緊湊：400x500 mm, 22 kg 樣品臺行程：R (線性) ：150 mm, 精度：12 μm 角度（旋轉）360°，精度：0.1°Film Sense FS-1™多波長橢偏儀
主要特點
優(yōu)勢
標準 FS-1 配置
性能
應用領域
In Situ 在線測量功能
特點和參數
聚焦光束選件
聚焦光束檢測
FS-XY150
FS-RT300
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