Nano-rP原子力顯微鏡主要由帶針尖的微懸臂、微懸臂運(yùn)動(dòng)檢測(cè)裝置、監(jiān)控其運(yùn)動(dòng)的反饋回路、使樣品進(jìn)行掃描的壓電陶瓷掃描器件、計(jì)算機(jī)控制的圖像采集、顯示及處理系統(tǒng)組成

Nano-rP原子力顯微鏡主要由帶針尖的微懸臂、微懸臂運(yùn)動(dòng)檢測(cè)裝置、監(jiān)控其運(yùn)動(dòng)的反饋回路、使樣品進(jìn)行掃描的壓電陶瓷掃描器件、計(jì)算機(jī)控制的圖像采集、顯示及處理系統(tǒng)組成

Nano-rP原子力顯微鏡主要特點(diǎn)
范圍：80um
直線性：1%
分辨率：0.1nm
Z-Scan:
范圍：8um
分辨率：0.1nm
Z噪訊：0.13nm懸臂傳感器開
       0.07nm懸臂傳感器關(guān)
彩色視頻顯微鏡
放大倍數(shù)（9”監(jiān)測(cè)器）：1000
自動(dòng)放大/聚焦：4
視野：140um*190um
解析度：1.5um
自動(dòng)X-Y臺(tái)：
範(fàn)圍：25.4 x 25.4 mm
步長(zhǎng)：3um
回轉(zhuǎn)速率：1.2mm/sec
掃描模式：
—接觸模式
—側(cè)力模式
—緊密接觸模式
—非接觸模式
—原料感模式
—力/距離模式