200mm探針臺，以高達5X的效率收集高精度測量數(shù)據(jù)

新型Cascade Summit200的200mm探針臺對于盡可能快地收集單個或大量晶圓高精度測量數(shù)據(jù)至關重要。

Summit200為研發(fā)、器件表征、建?；蛐∨可a而設計，確保低噪聲、DC、RF、mmW和THz的精確測量，確保以的速度獲取精確數(shù)據(jù)，可提供半自動或全自動方案。

新一代探針臺采用PureLineTM技術，實現(xiàn)目前市場上的噪聲測量方案。AttoGuard®和MicroChamber®技術顯著提升低漏電和小電容的測試精度。新型快速200mm上料平臺一次性可放50片晶圓的高吞吐量，-60℃到300℃的寬溫度范圍為科學家、研發(fā)人員、測試工程師和生產操作人員快速完成任務所需的一切。

SUMMIT200探針臺支持Contact Intelligence™–一種實現(xiàn)自主半導體測試的技術。創(chuàng)新的系統(tǒng)設計和的圖像處理功能的強大組合提供了獨立于操作員的解決方案，可在任何時間和溫度下獲得高度可靠的測量數(shù)據(jù)。

憑借廣泛的應用領域和滿足任何未來需要的升級途徑，SUMMIT200 提供了的 200 mm 探針臺平臺，以實現(xiàn)現(xiàn)有及未來器件和 IC 的快速、高準確度和大容量測量。