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日立5300E環(huán)境多功能原子力顯微鏡

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AFM5300E是一款環(huán)境型原子力顯微鏡,它的環(huán)境控制單元可以使樣品在大氣中、真空中、溶液中等環(huán)境中進(jìn)行測量。AFM5300E還具有高低溫控制功能,可以檢測溫度對樣品表面形貌和物理特性的影響?!? 特點1. 環(huán)境控制功能(大氣,真空,液體,溫控等)AFM5300E能夠?qū)崿F(xiàn)高真空的測試環(huán)境,限度減小樣品表面吸附水對測試的影響,實現(xiàn)精確的物理特性測量。 真空環(huán)境下可以實現(xiàn)更大范圍的溫...

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概述
產(chǎn)品參數(shù)

AFM5300E是一款環(huán)境型原子力顯微鏡,它的環(huán)境控制單元可以使樣品在大氣中、真空中、溶液中等環(huán)境中進(jìn)行測量。AFM5300E還具有高低溫控制功能,可以檢測溫度對樣品表面形貌和物理特性的影響。


1. 環(huán)境控制功能(大氣,真空,液體,溫控等)

AFM5300E能夠?qū)崿F(xiàn)高真空的測試環(huán)境,限度減小樣品表面吸附水對測試的影響,實現(xiàn)精確的物理特性測量。 真空環(huán)境下可以實現(xiàn)更大范圍的溫度控制。另外,新開發(fā)的『溫度掃描功能』可監(jiān)視樣品Z方向的熱脹冷縮,通過控制反饋信號,使懸臂在變溫環(huán)境下連續(xù)測試樣品表面的物理特性。
(3857581號、3926638號)


●大氣中 ●液體中 ●真空中 ●特殊氣氛(流量控制)
●溫度控制 加熱?冷卻(-120~300℃) 高溫(室溫~800℃)
●濕度控制(0~80%)
●外加磁場(水平、垂直、面內(nèi)旋轉(zhuǎn)、max 5000 Oe )


2. 簡便操作(綜合型Holder Flange)

通過采用『綜合型Holder Flange開合功能』,樣品和掃描器更換更為方便的同時,免去了以往環(huán)境型SPM的樣品更換后的所需的光軸調(diào)整。 也省去測試模式切換時的支架更換環(huán)節(jié)。


3. 的高性能

采用了『Swing Cancel功能』,減輕了樣品的浮動,降低了漂移。提高了納米分析性能,提升了可信度。 漂移量:0.015nm/sec以下


4. 通過減輕表面吸附水的影響,提高了電氣性能的檢測精度

真空環(huán)境下減輕樣品表面吸附的水分和污染物的影響,因而實現(xiàn)高分辨高靈敏的電學(xué)性能分析。


產(chǎn)品參數(shù)
分辨率原子相
樣品尺寸20 mmφ、厚度10 mm (用配件厚度擴(kuò)展至20 mm)
樣品移動范圍X-Y stage 5 mm
掃描范圍標(biāo)準(zhǔn): 20 µm□/1.5 µmH
? 150 µm□/5 µmH
? 15 µm□/1.5 µmH(閉環(huán)差控制)
定位顯微鏡 ? 簡易顯微鏡(×200倍)
? 光學(xué)顯微鏡(×1000倍)
? 變焦顯微鏡(×700倍)
? 金相顯微鏡(裝有微分干渉)(×2000倍)
檢測功能
  • AFM(接觸模式)

  • DFM(輕敲模式)

  • PM(相位)

  • FFM(摩擦)

  • MFM(磁力)

  • SIS模式

  • LM-FFM(橫向摩擦)

  • VE-AFM/DFM(粘彈性)

  • Adhesion(吸附力)

  • CURRENT(電流)

  • SSRM(擴(kuò)展抵抗)

  • SNDM(非線性介電常數(shù))

  • PRM(壓電響應(yīng))、KFM(表面電位)

  • 液體中AFM/DFM

  • EC-AFM/STM

  • NanoIndentation(硬度)

  • Nano-TA(微區(qū)加熱)

選配件高溫加熱樣品臺
加熱冷卻兼用樣品臺
冷卻真空
溫度控制



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