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精密型臺階儀

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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此型工業(yè)用臺階儀基于Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析,包括半導(dǎo)體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。 能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。該儀器 配備了各種型號探針,提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭,彩色CCD 原位采集設(shè)計,可直接觀察到探針工作時的狀態(tài),更方便準(zhǔn)確的定位測試區(qū)域。

詳細(xì)信息 在線詢價

產(chǎn)品主要特點:

 

1. 采用直動式檢出器,測量穩(wěn)定

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2. 重復(fù)性及再現(xiàn)性

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3. 低測定力采用

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a. 測定力從0.5N~500N,0.05~50mgf范圍內(nèi)任意設(shè)定

b. 可測量柔軟性質(zhì)表面


4. 真實能見度

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基本參數(shù)配置:


一、樣品臺:

1. 樣品臺尺寸:φ160mm

2. 工件尺寸:φ200mm

3. 工件厚度:52mm

4. 工件重量:2kg

5. 傾斜調(diào)整范圍:±2°(±5mm/160mm)

6. 樣品臺材質(zhì):黑色硬質(zhì)鋁

7. 手動旋轉(zhuǎn):360°(手動粗調(diào))、±5°(微調(diào),最小約0.5°)


二、傳感器(pick up):

1. 原理:直動式傳感器 (業(yè)界)

2. Z方向測定范圍:Max. 600μm

3. Z方向最小分辨率:0.025nm (2,000,000放大倍率時)

4. 測定力: 10uN ~500uN

5. 觸針半徑:2 μm 60° 鉆石針頭 (另有多種可選)

6. 驅(qū)動方式:直動式

7. 再現(xiàn)性:1σ= 0.2nm (1um以下臺階時)


三、X 軸 (基準(zhǔn)軸/測量軸):

1. 移動量(測長):100mm (±50mm)

2. 真直度:0.2μm/100mm(全量程),5nm/5mm (局部)

3. 移動,測定速度:0.005~20mm/s

4. 線性尺(linar scale):X方向分辨率 0.1μm

5. 位置重復(fù)誤差:±5um


四、Z軸:

1. 移動量:54mm

2. 移動速度:max.2.0mm/S

3. 檢出器自動停止機(jī)能


五、Y軸:(手動定位用)

1. 移動量:25mm(±12.5mm)


六、工件觀察:

1. 彩色1/3”CCD,x4物鏡倍率

2. 綜合倍率:約320倍 (使用19” monitor時)

3. 視野:1.2*0.9mm

4. 觀察方向:右側(cè)斜視

5. 照明:白色LED(可使用軟件調(diào)整明暗度)


更多型號及各類不同特殊應(yīng)用請隨時咨詢我司人員進(jìn)行交流咨詢,以便提供給您更加精準(zhǔn)的型號配置推薦。






產(chǎn)品主要特點:

 

1. 采用直動式檢出器,測量穩(wěn)定

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2. 重復(fù)性及再現(xiàn)性

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3. 低測定力采用

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a. 測定力從0.5N~500N,0.05~50mgf范圍內(nèi)任意設(shè)定

b. 可測量柔軟性質(zhì)表面


4. 真實能見度

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基本參數(shù)配置:


一、樣品臺:

1. 樣品臺尺寸:φ160mm

2. 工件尺寸:φ200mm

3. 工件厚度:52mm

4. 工件重量:2kg

5. 傾斜調(diào)整范圍:±2°(±5mm/160mm)

6. 樣品臺材質(zhì):黑色硬質(zhì)鋁

7. 手動旋轉(zhuǎn):360°(手動粗調(diào))、±5°(微調(diào),最小約0.5°)


二、傳感器(pick up):

1. 原理:直動式傳感器 (業(yè)界)

2. Z方向測定范圍:Max. 600μm

3. Z方向最小分辨率:0.025nm (2,000,000放大倍率時)

4. 測定力: 10uN ~500uN

5. 觸針半徑:2 μm 60° 鉆石針頭 (另有多種可選)

6. 驅(qū)動方式:直動式

7. 再現(xiàn)性:1σ= 0.2nm (1um以下臺階時)


三、X 軸 (基準(zhǔn)軸/測量軸):

1. 移動量(測長):100mm (±50mm)

2. 真直度:0.2μm/100mm(全量程),5nm/5mm (局部)

3. 移動,測定速度:0.005~20mm/s

4. 線性尺(linar scale):X方向分辨率 0.1μm

5. 位置重復(fù)誤差:±5um


四、Z軸:

1. 移動量:54mm

2. 移動速度:max.2.0mm/S

3. 檢出器自動停止機(jī)能


五、Y軸:(手動定位用)

1. 移動量:25mm(±12.5mm)


六、工件觀察:

1. 彩色1/3”CCD,x4物鏡倍率

2. 綜合倍率:約320倍 (使用19” monitor時)

3. 視野:1.2*0.9mm

4. 觀察方向:右側(cè)斜視

5. 照明:白色LED(可使用軟件調(diào)整明暗度)


更多型號及各類不同特殊應(yīng)用請隨時咨詢我司人員進(jìn)行交流咨詢,以便提供給您更加精準(zhǔn)的型號配置推薦。







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