產(chǎn)品主要特點(diǎn)：
1. 采用直動(dòng)式檢出器，測(cè)量穩(wěn)定
2. 重復(fù)性及再現(xiàn)性
3. 低測(cè)定力采用
a. 測(cè)定力從0.5N~500N,0.05~50mgf范圍內(nèi)任意設(shè)定
b. 可測(cè)量柔軟性質(zhì)表面
4. 真實(shí)能見(jiàn)度
基本參數(shù)配置：
一、樣品臺(tái)：
1. 樣品臺(tái)尺寸：φ160mm
2. 工件尺寸：φ200mm
3. 工件厚度：52mm
4. 工件重量：2kg
5. 傾斜調(diào)整范圍：±2°(±5mm/160mm)
6. 樣品臺(tái)材質(zhì)：黑色硬質(zhì)鋁
7. 手動(dòng)旋轉(zhuǎn)：360°(手動(dòng)粗調(diào))、±5°(微調(diào)，最小約0.5°)
二、傳感器（pick up）：
1. 原理：直動(dòng)式傳感器 （業(yè)界）
2. Z方向測(cè)定范圍：Max. 600μm
3. Z方向最小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率時(shí))
4. 測(cè)定力： 10uN ~500uN
5. 觸針半徑：2 μm 60° 鉆石針頭 （另有多種可選）
6. 驅(qū)動(dòng)方式：直動(dòng)式
7. 再現(xiàn)性：1σ= 0.2nm (1um以下臺(tái)階時(shí))
三、X 軸 (基準(zhǔn)軸/測(cè)量軸)：
1. 移動(dòng)量(測(cè)長(zhǎng))：100mm (±50mm)
2. 真直度：0.2μm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)
3. 移動(dòng),測(cè)定速度：0.005~20mm/s
4. 線(xiàn)性尺(linar scale)：X方向分辨率 0.1μm
5. 位置重復(fù)誤差：±5um
四、Z軸：
1. 移動(dòng)量：54mm
2. 移動(dòng)速度：max.2.0mm/S
3. 檢出器自動(dòng)停止機(jī)能
五、Y軸：（手動(dòng)定位用）
1. 移動(dòng)量：25mm（±12.5mm）
六、工件觀察：
1. 彩色1/3”CCD，x4物鏡倍率
2. 綜合倍率：約320倍 (使用19” monitor時(shí))
3. 視野：1.2*0.9mm
4. 觀察方向：右側(cè)斜視
5. 照明：白色LED（可使用軟件調(diào)整明暗度）
更多型號(hào)及各類(lèi)不同特殊應(yīng)用請(qǐng)隨時(shí)咨詢(xún)我司人員進(jìn)行交流咨詢(xún)，以便提供給您更加精準(zhǔn)的型號(hào)配置推薦。
產(chǎn)品主要特點(diǎn)：
1. 采用直動(dòng)式檢出器，測(cè)量穩(wěn)定
2. 重復(fù)性及再現(xiàn)性
3. 低測(cè)定力采用
a. 測(cè)定力從0.5N~500N,0.05~50mgf范圍內(nèi)任意設(shè)定
b. 可測(cè)量柔軟性質(zhì)表面
4. 真實(shí)能見(jiàn)度
基本參數(shù)配置：
一、樣品臺(tái)：
1. 樣品臺(tái)尺寸：φ160mm
2. 工件尺寸：φ200mm
3. 工件厚度：52mm
4. 工件重量：2kg
5. 傾斜調(diào)整范圍：±2°(±5mm/160mm)
6. 樣品臺(tái)材質(zhì)：黑色硬質(zhì)鋁
7. 手動(dòng)旋轉(zhuǎn)：360°(手動(dòng)粗調(diào))、±5°(微調(diào)，最小約0.5°)
二、傳感器（pick up）：
1. 原理：直動(dòng)式傳感器 （業(yè)界）
2. Z方向測(cè)定范圍：Max. 600μm
3. Z方向最小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率時(shí))
4. 測(cè)定力： 10uN ~500uN
5. 觸針半徑：2 μm 60° 鉆石針頭 （另有多種可選）
6. 驅(qū)動(dòng)方式：直動(dòng)式
7. 再現(xiàn)性：1σ= 0.2nm (1um以下臺(tái)階時(shí))
三、X 軸 (基準(zhǔn)軸/測(cè)量軸)：
1. 移動(dòng)量(測(cè)長(zhǎng))：100mm (±50mm)
2. 真直度：0.2μm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)
3. 移動(dòng),測(cè)定速度：0.005~20mm/s
4. 線(xiàn)性尺(linar scale)：X方向分辨率 0.1μm
5. 位置重復(fù)誤差：±5um
四、Z軸：
1. 移動(dòng)量：54mm
2. 移動(dòng)速度：max.2.0mm/S
3. 檢出器自動(dòng)停止機(jī)能
五、Y軸：（手動(dòng)定位用）
1. 移動(dòng)量：25mm（±12.5mm）
六、工件觀察：
1. 彩色1/3”CCD，x4物鏡倍率
2. 綜合倍率：約320倍 (使用19” monitor時(shí))
3. 視野：1.2*0.9mm
4. 觀察方向：右側(cè)斜視
5. 照明：白色LED（可使用軟件調(diào)整明暗度）
更多型號(hào)及各類(lèi)不同特殊應(yīng)用請(qǐng)隨時(shí)咨詢(xún)我司人員進(jìn)行交流咨詢(xún)，以便提供給您更加精準(zhǔn)的型號(hào)配置推薦。
