AFM-IN工業(yè)型原子力顯微鏡產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 先實(shí)現(xiàn)樣品保持不動，探針移動掃描的原子力顯微鏡；
• 先采用閉環(huán)三軸獨(dú)立壓電平移式掃描器，大范圍高精確度掃描；
• 樣品尺寸、重量基本不受限制，特別適合集成電路晶圓等超大樣品檢測；
• 龍門架式掃描頭設(shè)計，大理石底座，真空吸附式載物臺；
• 大行程二維電動樣品移動臺，快速選擇感興趣的樣品區(qū)域；
• 高倍光學(xué)定位系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)探針和樣品掃描區(qū)域精確定位；
• 簡易的激光光斑調(diào)節(jié)方式，可通過光學(xué)CCD窗口實(shí)時觀測及調(diào)節(jié)光斑；
• 單軸驅(qū)動掃描頭自動垂直接近樣品，準(zhǔn)確定位掃描區(qū)域，針尖垂直于樣品掃描；
• 馬達(dá)控制加壓電陶瓷自動探測的智能進(jìn)針方式，保護(hù)探針及樣品；
• 配備封閉式金屬屏蔽罩，氣動式減震臺，抗干擾能力強(qiáng)，不影響儀器使用操作；
• 集成掃描器硬件非線性校正用戶編輯器，納米表征和測量精度優(yōu)于98%。

應(yīng)用范圍