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激光共聚焦顯微鏡 OLS5100

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LEXT™OLS51003D激光掃描顯微鏡用于材料分析的激光顯微鏡更智能的工作流程,更快速的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)適用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光顯微鏡將的測量精度和光學(xué)性能與智能工具相結(jié)合,讓顯微鏡更加方便使用

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LEXT™ OLS5100 3D激光掃描顯微鏡

用于材料分析的激光顯微鏡

更智能的工作流程,更快速的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)

適用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光顯微鏡將的測量精度和光學(xué)性能與智能工具相結(jié)合,讓顯微鏡更加方便使用。通過快速高效jing確測量亞微米級形狀和表面粗糙度的可靠數(shù)據(jù)簡化您的工作流程。


保證測量準(zhǔn)確度

LEXT顯微鏡物鏡可提供高度準(zhǔn)確的測量數(shù)據(jù)。與智能物鏡選擇助手(Smart Lens Advisor)搭配使用,就可獲得可靠的高精度數(shù)據(jù)。


有保證的測量準(zhǔn)確度*

奧林巴斯享譽(yù)世界的光學(xué)器件能夠以更低像差在整個(gè)視場中捕捉樣品的真實(shí)形貌

智能物鏡選擇助手(Smart Lens Advisor)還可幫助您選擇合適的物鏡進(jìn)行粗糙度測量

*本網(wǎng)頁上包括保證的準(zhǔn)確度在內(nèi)的信息基于奧林巴斯設(shè)定的條件。


簡化材料工程與失效分析實(shí)驗(yàn)管理

測試新材料時(shí)的實(shí)驗(yàn)條件管理具有復(fù)雜性,OLS5100激光顯微鏡的智能實(shí)驗(yàn)管理助手(Smart Experiment Manager)可通過關(guān)鍵步驟(如創(chuàng)建實(shí)驗(yàn)計(jì)劃)自動(dòng)化簡化這一過程。

提升30%的速度加快完成測量任務(wù) *

掃描計(jì)劃隨數(shù)據(jù)采集自動(dòng)生成

無需花費(fèi)時(shí)間轉(zhuǎn)錄數(shù)據(jù),軟件為您自動(dòng)完成


自動(dòng)數(shù)據(jù)輸入

軟件會(huì)自動(dòng)將值添加到實(shí)驗(yàn)計(jì)劃矩陣中,以盡可能減少輸入錯(cuò)誤的可能。只需點(diǎn)擊幾下鼠標(biāo),就可以將實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)導(dǎo)出到Excel電子表格。

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簡捷的實(shí)驗(yàn)條件數(shù)據(jù)管理

通過點(diǎn)擊實(shí)驗(yàn)計(jì)劃中的每個(gè)單元格,軟件即可自動(dòng)生成包含評估條件的文件名,從而方便保存記錄。每個(gè)文件均包含相關(guān)聯(lián)的圖像和數(shù)據(jù)。


數(shù)據(jù)采集

顯微鏡根據(jù)軟件生成的實(shí)驗(yàn)計(jì)劃掃描樣品,不會(huì)讓您丟失數(shù)據(jù)或重復(fù)工作。


輕松發(fā)現(xiàn)問題

彩色圖譜可幫助您了解實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)并驗(yàn)證是否存在數(shù)據(jù)丟失和錯(cuò)誤。如果存在問題,您可以盡早發(fā)現(xiàn)并解決。


選擇合適的物鏡

智能物鏡選擇助手(Smart Lens Advisor)還可幫助您為粗糙度測量應(yīng)用選擇合適的物鏡只需選擇合適的物鏡,再點(diǎn)擊開始,智能物鏡選擇助手(Smart Lens Advisor)就會(huì)告訴您該物鏡的推薦程度。


輕松的數(shù)據(jù)采集

經(jīng)驗(yàn)豐富的用戶和新手均可以利用Smart Scan II功能快速輕松獲取數(shù)據(jù)。將樣品放在載物臺(tái)上,按下“啟動(dòng)”按鈕,顯微鏡即可自動(dòng)完成其余操作。

主機(jī)

型號(hào)OLS5100-SAFOLS5100-SMFOLS5100-LAFOLS5100-EAF
總倍率

54x–17,280x

視場

16 µm–5,120 µm

測量原理光學(xué)系統(tǒng)反射式共焦激光掃描激光顯微鏡
反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡
顏色
彩色DIC

光接收元件激光:光電倍增管(2通道)
彩色:CMOS彩色相機(jī)
高度測量顯示分辨率0.5 nm

動(dòng)態(tài)范圍16位

重復(fù)性σn -1*1 *2 *55X:0.45 μm, 10X:0.1 μm, 20X:0.03 μm, 50X:0.012 μm, 100X:0.012 μm

準(zhǔn)確度*1 *3 *50.15 + L / 100μm(L:測量長度[μm])

拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *510X:5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接長度[μm])

測量噪聲(Sq噪聲)*1 *4 *51 nm(典型值)
寬度測量顯示分辨率1 nm

重復(fù)性3σn-1  *1 *2 *5 

5X:0.4 μm, 10X:0.2 μm, 20X:0.05 μm, 50X:0.04 μm, 100X:0.02 μm


準(zhǔn)確度*1 *3 *5測量值+/- 1.5%

拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *510X:24+0.5L μm, 20X:15+0.5L μm, 50X:9+0.5L μm, 100X:7+0.5L μm (L:拼接長度[mm])
單次測量時(shí)測量點(diǎn)數(shù)量

4096 × 4096像素

測量點(diǎn)數(shù)量

3600萬像素

XY載物臺(tái)配置長度測量模塊?不適用不適用?

工作范圍

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng)

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手動(dòng)

300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 電動(dòng)

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng)

樣品高度

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.)

30 mm (1.2 in.)

30 mm (1.2 in.)

210 mm (8.3 in.)

激光光源波長405 nm

輸出0.95 mW

激光等級2級(IEC60825-1:2007,IEC60825-1:2014)
彩色光源白光LED
電氣功率240 W240 W278 W240 W
質(zhì)量顯微鏡主體約 31 kg約 32 kg約 50 kg約 43 kg

控制箱約 12 kg

*1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)規(guī)定的恒溫恒濕環(huán)境下使用時(shí)提供保證(溫度:20?C±1?C,濕度:50%±10%),如ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)所規(guī)定。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物鏡測量時(shí)倍率20x或更高。
*3 在使用專用LEXT物鏡測量時(shí)。
*4使用MPLAPON100XLEXT物鏡測量時(shí)的典型值。
*5 基于奧林巴斯認(rèn)證系統(tǒng)下的保證。

** Window 10的OS許可已通過奧林巴斯提供的顯微鏡控制器認(rèn)證。因此接受Microsoft許可條款即表示您同意這些條款。有關(guān)Microsoft的許可條款,請參閱以下內(nèi)容。
/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_english.htm



物鏡

系列型號(hào)數(shù)值孔徑(NA)工作距離(WD)(mm)
UIS2?物鏡MPLFLN2.5x0.0810.7
MPLFLN5x0.1520
專用LEXT物鏡(10X)MPLFLN10xLEXT0.310.4


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