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555 多功能離子減薄儀Leica EM RES102

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Leica EM RES102 通過離子槍激發(fā)獲得離子束,以一定入射角度對(duì)樣品進(jìn)行轟擊,以去除樣品表面原子,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的離子束加工。Leica EM RES102主要功能為:對(duì)無機(jī)薄片樣品進(jìn)行離子減薄,使得薄片樣品可被透射電子穿過,從而適宜TEM透射電子顯微鏡觀察;對(duì)無機(jī)塊狀樣品進(jìn)行離子束拋光、離子束刻蝕,樣品表面離子清洗及斜坡切割,便于SEM掃描電子顯微鏡觀察樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息

 

主要技術(shù)參數(shù)

• 具有2把離子槍,離子束能量為0.8keV-10keV,相對(duì)位置,可分別±45°傾斜,樣品臺(tái)傾斜角度-120°至210°,離子束加工角度0°至90°,樣品平面擺動(dòng)角度<360°,垂直擺動(dòng)距離±5mm。實(shí)際操作參數(shù)根據(jù)具體應(yīng)用需要選擇(系統(tǒng)備有參考參數(shù),也可自行設(shè)置參數(shù)并存儲(chǔ))

• 可選配樣品臺(tái):TEM樣品臺(tái)(Ø3.0mm或Ø2.3mm),F(xiàn)IB樣品清洗臺(tái),SEM樣品臺(tái),斜坡切割樣品臺(tái)(對(duì)樣品35°或90°斜坡切割)等

• SEM樣品臺(tái)可容納樣品尺寸:直徑25mm,高度12mm

• 全無油真空系統(tǒng),樣品室?guī)в蓄A(yù)抽室,保證樣品交換時(shí)間<1分鐘

• 全電腦控制,觸摸屏操作界面,內(nèi)置視頻觀察系統(tǒng),可實(shí)時(shí)觀察樣品處理過程


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