本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺(tái)：尺寸1200mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

技術(shù)參數(shù)

1、電源：AC 220V  50Hz/60Hz  3KW（需要30A的空氣開關(guān)）

2、氧化鋁管：外徑?60mm，內(nèi)徑?54mm，長(zhǎng)790mm

3、加熱元件：1750℃級(jí)硅鉬棒

4、加熱區(qū)域：300mm

5、工作溫度：連續(xù)800-1600℃

6、升降溫速率：10℃/min

7、控溫精度：±1℃

8、真空壓力：可達(dá)50mtorr

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：445mm×380mm×615mm；重量：100kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

氧化鋁管

1根

2

氧化鋁管堵

4個(gè)

3

不銹鋼法蘭

1套

可選配件

1、移動(dòng)爐架

2、波紋管

3、數(shù)字真空計(jì)

4、KF25轉(zhuǎn)接頭

5、不銹鋼卡套接頭