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帶3路浮子混氣RTP管式爐RTP-1000-LV3F

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產(chǎn)品簡介:3路浮子混氣RTP管式爐RTP-1000-LV3F是專為半導(dǎo)體基片、太陽能電池及其它樣品(尺寸可達(dá)3")的退火而設(shè)計(jì),配有3路流量計(jì)和機(jī)械泵。本機(jī)采用 9KW的紅外燈進(jìn)行加熱,升溫速度可達(dá) 100/s,配有RS485 接口,可以通過控制軟件在計(jì)算機(jī)上控制運(yùn)行并顯示溫度曲線。

 

 

產(chǎn)品型號(hào)

3路浮子混氣RTP管式爐RTP-1000-LV3F

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水)

2、電:AC380V 50Hz(63A空氣開關(guān)),必須有良好接地

3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)

4、工作臺(tái):尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1、雙層Al2O3纖維鋼構(gòu),無需水冷或風(fēng)冷。

2、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。

3PID制器,可以設(shè)置30段升降溫程序,并設(shè)有過熱保護(hù)和斷偶功能。

4、通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1電源:單相208V-240V AC  50Hz/60Hz  9KW

2、石英管:外徑Ø110mm,內(nèi)徑Ø103mm,長380mm

3、加熱元件:紅外燈管,直徑Ø10mm,長300mm

4、加熱區(qū):300mm

5、工作溫度:溫度1100

6、控溫精度:±0.5

7、升溫速度:RT-800℃時(shí)為50/s,800-1000℃時(shí)為10/s

8、溫控儀:可控硅(SCRPID自動(dòng)控制

9真空法蘭:不銹鋼,帶有水冷接口和針閥,雙層高溫O型圈密封,長時(shí)間在>900℃條件下運(yùn)行必須采用水冷,循環(huán)水流量為0.5m3/hr

10、真空度:10-3torr

11、流量計(jì):3個(gè),量程40cc/min-400cc/min,精度4%FS

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:爐體760mm×330mm×530mm,真空混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm;重量:45kg

可選配件

防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)


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