掃描探針顯微系統(tǒng)(超高速原子力顯微鏡)Dimension Icon的性能、功能及附件等方面具有全新表現(xiàn),在聚合物、半導(dǎo)體、能源、數(shù)據(jù)存儲及材料領(lǐng)域的納米研究中將會得到廣泛應(yīng)用。Dimension Icon是Dimension系列產(chǎn)品中的最新款設(shè)備,它基于世界上應(yīng)用廣泛的AFM平臺,集合了數(shù)十年的技術(shù)創(chuàng)新、行業(yè)內(nèi)的應(yīng)用定制及客戶反饋等于一身。
儀器簡介:
掃描探針顯微系統(tǒng)(超高速原子力顯微鏡)Dimension Icon
掃描探針顯微系統(tǒng)(超高速原子力顯微鏡)Dimension Icon的性能、功能及附件等方面具有全新表現(xiàn),在聚合物、半導(dǎo)體、能源、數(shù)據(jù)存儲及材料領(lǐng)域的納米研究中將會得到廣泛應(yīng)用。Dimension Icon是Dimension系列產(chǎn)品中的最新款設(shè)備,它基于世界上應(yīng)用廣泛的AFM平臺,集合了數(shù)十年的技術(shù)創(chuàng)新、行業(yè)內(nèi)的應(yīng)用定制及客戶反饋等于一身。這個系統(tǒng)經(jīng)過從上到下的設(shè)計(jì),在易用性、高分辨率及快速成像等方面有突出表現(xiàn)。
技術(shù)參數(shù):
X-Y方向掃描范圍:90um *90um典型值,最小85um
Z方向掃描范圍:10um典型值,在成像及力曲線模式下;最小9.5um
垂直方向噪音基底:<30pmRMS, 在合適的環(huán)境及典型的成像帶寬(達(dá)到625Hz)
X-Y定位噪音(閉環(huán)):<0.15nm RMS,典型成像帶寬(達(dá)到625Hz)
X-Y定位噪音(閉環(huán)):<0.10nm RMS,典型成像帶寬(達(dá)到625Hz)
Z傳感器噪音水平(閉環(huán)):<35pm RMS, 典型成像帶寬(達(dá)到625Hz)
整體線性誤差(X-Y-Z):0.5% 典型值
樣品尺寸/夾具:210mm真空吸盤樣品臺,直徑210mm, 厚度15mm
電動定位樣品臺(X-Y軸):180mm*180mm可視區(qū)域;單向2um重復(fù)性;雙向3um重復(fù)性。
顯微鏡光學(xué)系統(tǒng):五百萬像素?cái)?shù)字照相機(jī)
180um至1465um可視范圍
數(shù)字縮放及自動對焦功能
控制器:NanoScope V型控制器
工作臺:整合所有控制器、結(jié)合人體工學(xué)設(shè)計(jì),提供直接的物理或可視借口
震動隔絕:整體式氣動減震臺
聲音隔絕:可隔絕環(huán)境中85 dBC的持續(xù)噪音
主要特點(diǎn):
結(jié)合Veeco最新的針尖-掃描AFM技術(shù),Icon的溫度補(bǔ)償定位傳感器使Z軸的的噪音水平達(dá)到亞-埃米級,X-Y方向達(dá)埃米級。在大樣品臺、90微米掃描范圍系統(tǒng)的儀器當(dāng)中,這種表現(xiàn)是非常突出的,優(yōu)于絕大部分的開環(huán)、高分辨率AFM系統(tǒng)的噪音水平。
Icon不僅具有非常好的分辨率,它還具備許多新的特性,以增加新老AFM用戶操作儀器的便捷性及出圖像速率:
• 設(shè)計(jì)的掃描管,實(shí)現(xiàn)閉環(huán)掃描功能同時,具有開環(huán)掃描管的噪音水平,在大樣品AFM系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)的分辨率
• 全新設(shè)計(jì)的XYZ閉環(huán)掃描管,在不影響圖像質(zhì)量下具有非常高的掃描速度,具有非??斓臄?shù)據(jù)采集能力
• 最新的NanoScope軟件版本,提供直觀的操作流程及默認(rèn)實(shí)驗(yàn)?zāi)K,將復(fù)雜的AFM操作流程轉(zhuǎn)化為預(yù)先設(shè)置
• 高分辨率的照相機(jī)及X-Y定位,實(shí)現(xiàn)更迅速、更有效的樣品定位
• *開放的針尖及樣品環(huán)境,適用于絕大部分的標(biāo)準(zhǔn)或定制實(shí)驗(yàn)
• 硬件及軟件設(shè)置適用Veeco現(xiàn)有的及即將推出的所有模式及技術(shù),包括現(xiàn)有的先進(jìn)的HarmoniX納米材料性能成像模式