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LODAS 晶圓缺陷檢測系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 北京歐屹科技有限公司
  • 品牌
  • 型號 LODAS
  • 所在地 北京市
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2022/3/4 16:26:32
  • 訪問次數(shù) 1061

聯(lián)系方式:王新波 查看聯(lián)系方式

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可一次性檢查第三代半導體 SIC 等材料表面,背面和內部的缺陷,可探測最小缺陷為100 納米,主要用于半導體光罩、 LCD 大型光罩的石英玻璃表面、內部、背面的缺陷檢查 。

詳細信息 在線詢價

列真公司在半導體光罩檢測設備上積累了獨自技術, 主產品 LODAS ™系列具有日本的激光檢測技術,可同時探測收集激光的反射光,透射光以及共聚焦,可一次性檢查第三代半導體 SIC 等材料表面,背面和內部的缺陷,可探測最小缺陷為100 納米,主要用于半導體光罩、 LCD 大型光罩的石英玻璃表面、內部、背面的缺陷檢查 。將此項技術運用于第三代半導體材料的缺陷檢查,將提升量產成品率將具有重要意義。

應用: SiC、GaN 

        半導體光罩(石英玻璃與涂層)、

        石英Wafer    Si Wafer  

        HDD Disk LT Wafer 

        藍寶石襯底、

        EUV光罩、

        光罩防塵膜

 

  可全面檢測 表面、內部、背面的缺陷

    外延缺陷

    胡蘿卜型缺陷

    彗星缺陷

    三角缺陷

    邊緣缺陷

 

    襯底缺陷

    微管缺陷

    層錯缺陷

    六方空洞缺陷

 


北京歐屹科技有限公司

|

手機:17600738803

聯(lián)系人:王新波

電話:86-010-51528178

傳真:86--

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