尺寸: 直徑= 9.7“ 高= 6”
放電電壓 / 電流: 50-300V / 20A
操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機(jī)前體

型號(hào)

eH3000 / eH3000L / eH3000M / eH3000LE

供電

DC magnetic confinement

 - 電壓

50-250V VDC

 - 離子源直徑

~ 7 cm

 - 陽極結(jié)構(gòu)

模塊化

電源控制

eHx-25020A

配置

-

- 陰極中和器

Filament, Sidewinder Filament or Hollow Cathode

- 離子束發(fā)散角度

> 45° (hwhm)

 - 陽極

標(biāo)準(zhǔn)或 Grooved

- 水冷

前板水冷

- 底座

移動(dòng)或快接法蘭

- 高度

4.0'

- 直徑

5.7'

- 加工材料

金屬
電介質(zhì)
半導(dǎo)體

- 工藝氣體

Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors

- 安裝距離

16-45”

- 自動(dòng)控制

控制4種氣體

* 可選: 可調(diào)角度的支架;

KRI 霍爾離子源 eH 3000 應(yīng)用領(lǐng)域
濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC
輔助鍍膜 ( 光學(xué)鍍膜 ) IBAD
表面改性, 激活 SM
直接沉積 DD

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