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日本ygkcop藍寶石表面檢查儀YPI-MX系列

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YPI-MX-XY /YPI-MX-Θ
玻璃基板表面檢查裝置/藍寶石表面檢查裝置YPI-MX系列(手動)
用于透明透明玻璃基板的機器,還支持各種背面緞面基板。
傳感器自動對焦機制可實現(xiàn)高度精確的前后分離。

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日本ygkcop藍寶石表面檢查儀YPI-MX系列

日本ygkcop藍寶石表面檢查儀YPI-MX系列

日本ygkcop藍寶石表面檢查儀YPI-MX系列

YPI-MX系列(手動)玻璃基板/藍寶石表面檢查設(shè)備



 
YPI-MX-XY /YPI-MX-Θ
玻璃基板表面檢查裝置/藍寶石表面檢查裝置YPI-MX系列(手動)
用于透明透明玻璃基板的機器,還支持各種背面緞面基板。
傳感器自動對焦機制可實現(xiàn)高度精確的前后分離。
 
 

設(shè)備規(guī)格

對應(yīng)板子尺寸
大200mm x 200mm 
(如果需要200mm以上)
掃描方式
XY掃描/Θ-X掃描(螺旋掃描)
吞吐率

 
□200mm(XY)約4分鐘
Φ200mm(Θ)2分鐘以內(nèi)
Φ150mm(Θ)1.5分鐘以內(nèi)
Φ100mm(Θ)1分鐘以內(nèi)
工作安裝
手動的
設(shè)備外形尺寸
寬900毫米x深1,000毫米x高1,757毫米
體重
約800公斤
能量消耗
約2.0kW(100V)
待檢查的基材
硅晶片,透明玻璃基板,藍寶石基板,LT晶片,SiC等
低檢測靈敏度
透明玻璃基板0.2μm
硅晶圓0.1μm
到頂部

導(dǎo)航


  •  

橫幅空間

山梨技術(shù)工作室有限公司

山梨縣
南阿爾卑斯市K和田595-2 400-0311

 055-284-6866
傳真055-284-6867

 

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