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YPI-MX系列 日本ygkcop玻璃基板/藍(lán)寶石表面檢查儀

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玻璃基板表面檢查裝置/藍(lán)寶石表面檢查裝置YPI-MX系列(自動轉(zhuǎn)移)
于透明玻璃基板的機(jī)器,也支持各種背面緞面基板。
傳感器自動對焦機(jī)制可實(shí)現(xiàn)高度精確的前后分離。

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于透明玻璃基板的機(jī)器,也支持各種背面緞面基板。
傳感器自動對焦機(jī)制可實(shí)現(xiàn)高度精確的前后分離。
 
 

設(shè)備規(guī)格

對應(yīng)板子尺寸
大200mm x 200mm 
(如果需要200mm以上,請與我們聯(lián)系)
掃描方式
XY掃描/Θ-X掃描(螺旋掃描)
吞吐率

 
□200mm(XY)約4分鐘
Φ200mm(Θ)2分鐘以內(nèi)
Φ150mm(Θ)1.5分鐘以內(nèi)
Φ100mm(Θ)1分鐘以內(nèi)
工作安裝
轉(zhuǎn)移機(jī)械手(背面吸力/邊緣夾具)
設(shè)備外形尺寸
寬1,530毫米x深1,300毫米x高1,903毫米
體重
約1,000kg
能量消耗
約2.0kW(100V)
待檢查的基材
硅晶片,透明玻璃基板,藍(lán)寶石基板,LT晶片,SiC等
低檢測靈敏度
透明玻璃基板0.2μm
硅晶圓0.1μm

 

深圳市秋山貿(mào)易有限公司

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手機(jī):18875910180

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  • 其他
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