瑞士CSM儀器公司的超納米壓痕測(cè)試儀器專門為要求超高分辨率壓入載荷與位移的*用戶設(shè)計(jì)制造。

                                          納米壓痕儀（Nanoindentor）

納米壓入測(cè)試儀 （0.1 - 500mN）
納米壓入測(cè)試儀主要適用于測(cè)量納米尺度的硬度與彈性模量，測(cè)量結(jié)果通過載荷及壓入深度曲線計(jì)算得出，無需應(yīng)用顯微鏡觀測(cè)壓痕面積。納米壓入測(cè)試儀可被用于有機(jī)或無機(jī)、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測(cè)分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學(xué)薄膜，微電子鍍膜，保護(hù)性薄膜，裝飾性薄膜等等?；w可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料，包括金屬、合金、半導(dǎo)體、玻璃、礦物和有機(jī)材料等。

瑞士CSM儀器公司三十年來致力于為材料、物理、機(jī)械工作者提供*、精準(zhǔn)、全面的材料機(jī)械性質(zhì)測(cè)試儀器、分析咨詢以及測(cè)試服務(wù)。我們的主要產(chǎn)品包括：
測(cè)量材料硬度和彈性模量的納米級(jí)、微米級(jí)儀器化壓入測(cè)試儀（納米壓痕儀, 顯微壓痕儀）；
界定膜基結(jié)合強(qiáng)度、薄膜抗劃擦能力的納米級(jí)、微米級(jí)、大載荷劃痕測(cè)試儀 （Scratch tester） ；
包括真空、高溫以及線性往復(fù)運(yùn)動(dòng)等選項(xiàng)的摩擦磨損測(cè)試儀、納米摩擦儀 （摩擦磨損試驗(yàn)機(jī) ；
zui簡(jiǎn)便易用的膜厚測(cè)試儀；
用于三維成像表征材料表面形貌的原子力顯微鏡 （AFM） 和白光共聚焦顯微鏡 （Confocal Microscope） 。

• 技術(shù)參數(shù)

• zui小有效加載載荷： ?25uN
  zui大有效加載載荷 ?50mN（或100mN, 出廠前設(shè)定）
  有效載荷分辨率 ?1nN
  zui小接觸力 ?100nN
  zui大壓痕深度 ?100um
  位移分辨率 ?0.0003nm
  位移信號(hào)噪聲水平 ?0.03nm
  位移信號(hào)穩(wěn)定水平（或熱漂移） 0.008nm/sec
  加載模式 高精度壓電驅(qū)動(dòng)加載
  位移測(cè)量 三個(gè)電容位移傳感器
  符合ISO 14577-1，2，3標(biāo)準(zhǔn)
  加載模式：
  線性加載，連續(xù)加載卸載，二次項(xiàng)加載，恒應(yīng)變速率加載，位移控制加載
  正弦加載（DMA模式）：
  能夠通過一次壓痕獲得接觸剛度、硬度和彈性模量隨壓痕深度的連續(xù)函數(shù)分布；
  能夠測(cè)量材料的儲(chǔ)存模量、損耗模量和阻尼
  能夠在壓入過程中通過反饋系統(tǒng)保持恒定的簡(jiǎn)諧位移振幅。
  簡(jiǎn)諧力頻率范圍: 1Hz to 200Hz
  
  
  XY 工作臺(tái)： 120 x 20 mm ，245 x 120 mm （OPX+）
  XY 工作臺(tái)位移分辨率 ：0.25 μm ，0.10 μm （選件）
  光學(xué)顯微鏡放大倍率： 200x, 4000x
  光學(xué)顯微鏡攝像鏡頭： 彩色 768 x 582*

• 主要特點(diǎn)

• 特點(diǎn)
  主動(dòng)參比測(cè)量設(shè)計(jì)
  超高熱穩(wěn)定性
  深度與載荷信號(hào)的電容傳感器測(cè)量
  雙壓電加載裝置（更加可靠的設(shè)計(jì)）
  雙載荷傳感器（閉環(huán)力反饋系統(tǒng)）
  符合標(biāo)準(zhǔn)ISO 和 ASTM
  集成自動(dòng)光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)
  帶有反饋系統(tǒng)的載荷加載裝置
  儀器操作系統(tǒng)軟件包

  可擴(kuò)展選項(xiàng)
  真空或濕度環(huán)境控制
  原子力顯微鏡
  高分辨率工作臺(tái) （精度0.25微米）
  高分辨率CCD光學(xué)顯微鏡
  環(huán)境保護(hù)罩