開爾文探針(Kelvin Probe)是一種非接觸無損震蕩電容裝置，用于測(cè)量導(dǎo)體材料的功函數(shù)(Work Function)或半導(dǎo)體、絕緣表面的表面勢(shì)(Surface Potential)。
材料表面的功函數(shù)通常由上層的1-3層原子或分子決定，所以開爾文探針是一種靈敏的表面分析技術(shù)。
我們的系統(tǒng)包括：
□ 單點(diǎn)開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境)；
□ 掃描開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境)；
□ 超高真空(UHV)開爾文探針；
□ 濕度控制的腐蝕開爾文探針；
掃描開爾文探針系統(tǒng) (ASKP)
ASKP系統(tǒng)是一款可以被大多數(shù)客戶所接收的掃描開爾文探針系統(tǒng)，它是在SKP基礎(chǔ)之上包括了彩色相機(jī)/TFT顯示器、2毫米和50微米探針、外部數(shù)字示波鏡等配置，其規(guī)格如下：
□ 2毫米，50微米探針；
□ 功函數(shù)分辨率 1-3 meV(2毫米針尖)，5-10 meV(50微米針尖)；
□ 針尖到樣品表面高度可以達(dá)到400納米以內(nèi)；
□ 表面勢(shì)和樣品形貌3維地圖；
□ 探針掃描或樣品掃描選配；
□ 彩色相機(jī)、調(diào)焦鏡頭、TFT顯示器和專業(yè)的光學(xué)固定裝置；
□ 參考樣品
□ 備用的針尖放大器；
□ 24個(gè)月超長(zhǎng)質(zhì)保期；
儀器的特色
□ 較高分辨率的功函數(shù)和表面勢(shì)，較好的穩(wěn)定性和數(shù)據(jù)重現(xiàn)性；
□ 非零專項(xiàng)技術(shù)(Off-null,ON) ——ON信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)在高信號(hào)水平下工作，與基于零信號(hào)原理(null-based,LIA)的系統(tǒng)相比，不會(huì)收到噪聲的影響擁有高靈敏度；
□ 高度調(diào)節(jié)專項(xiàng)技術(shù) ——我們的儀器在測(cè)量和掃描時(shí)可以控制針尖的高度。因?yàn)楣瘮?shù)受樣品形貌的影響，針尖與樣品表面距離的調(diào)節(jié)意味著數(shù)據(jù)的高重現(xiàn)性且不會(huì)漂移；
□ 該領(lǐng)域內(nèi)，擁有好的信噪比；
□ 快速響應(yīng)時(shí)間 ——測(cè)量速度在0.1-10秒間，遠(yuǎn)快于其他公司產(chǎn)品；
□ 功能強(qiáng)的驅(qū)動(dòng)器 ——選用Voice-coil(VC)驅(qū)動(dòng)器，與通常的壓電驅(qū)動(dòng)器相比，VC驅(qū)動(dòng)器頻率要穩(wěn)定得多、控制的針尖振幅大得多、支持平行多探針操作、支持不同直徑探針操作；
□ 所有開爾文探針參數(shù)的全數(shù)字控制；
ON | 非零探測(cè) Off Null detection |
| HR | 高度調(diào)節(jié)模式 Height Regulation mode |
| SM | 實(shí)際開爾文探針信號(hào)監(jiān)控 Monitoring of the actual Kelvin probe signal |
| UC | 用戶通道，同時(shí)測(cè)量外部參數(shù) User Channels, simultaneous measurement of external parameters |
| DC | 電流探測(cè)系統(tǒng)去除漂移效應(yīng) Current Detection system rejects stray capacity effects |
| PP | 平行板震動(dòng)模式 Ideal, Parallel Plate Oscillation Mode |
| SA | 信號(hào)平均 Signal Averaging (often termed Box-Car Detection) |
| WA | 功函數(shù)平均 Work Function Averaging, Difference and Absolute reporting |
| DC | 所有探針及探測(cè)參數(shù)的數(shù)字控制 Digital Control of all Probe and Detection Parameters |
| QT | 針尖快速改變 Quick-change Tip, variable spatial resolution |
| DE | 數(shù)據(jù)輸出 Data Export to Excel, Origin, or 3rd party software |
| OC | 輸出通道 Output Channel: TTL switching of external circuit |
| FC | 法拉第籠(電磁干擾防護(hù)罩) Faraday Cage (EMI Shield) |
| RS | 金-鋁參考樣品 Gold-Aluminium Reference Sample |
| 額外選配項(xiàng) |
| SPV | 表面光伏電壓軟硬件包 Surface Photovoltage Software and Hardware Package |
| RH | 相對(duì)濕度腔 Relative Humidity Chamber |
| AC | 控制氣體進(jìn)口的環(huán)境單元 Ambient Cell for controlled Gas Inlet |
| EDS | 外部數(shù)據(jù)示波鏡 External Digital Oscilloscope |
| OPT | 彩色相機(jī) Color Camera, TFT Screen and Optical Mounts |
| ST | 針尖置換 Replacement Tips |
| GCT | 鍍金的針尖替換 Gold Coated Replacement Tips |
| XYZ | 25.4毫米手動(dòng)3維控制臺(tái) 3-axis 25.4 mm Manual Stage |
應(yīng)用領(lǐng)域
吸附，電池系統(tǒng)，生物學(xué)和生物技術(shù)，催化作用，電荷分析，涂層，腐蝕，沉積，偶極層形成，顯示技術(shù)，教育，光/熱散發(fā)，費(fèi)米級(jí)掃描，燃料電池，離子化，MEMs，金屬，微電子，納米技術(shù)，Oleds，相轉(zhuǎn)變，感光染色，光伏譜學(xué)，高分子半導(dǎo)體，焦熱電，半導(dǎo)體，傳感器，皮膚，太陽(yáng)能電池，表面污染，表面化學(xué)，表面光伏，表面勢(shì)，表面物理，薄膜，真空研究，功函數(shù)工程學(xué)；
