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AL120 半導(dǎo)體晶圓搬送及檢測顯微鏡

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AL120半導(dǎo)體晶圓搬送及檢測顯微鏡可對應(yīng)200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓,可以安全高效搬送薄片晶圓,非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查。

詳細(xì)信息 在線詢價

AL120半導(dǎo)體晶圓搬送及檢測顯微鏡適應(yīng)范圍廣、搭配靈活
 

  對應(yīng)多種尺寸組合
 

  我們推出了200 mm型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(對應(yīng)小于150 mm的晶圓)的3種型號。除此以外,您還可以根據(jù)檢查模式,選用微觀檢查型號"L型"或微觀•宏觀檢查兼用型號"LMB型"。
 

晶圓尺寸•厚度對應(yīng)表
 

  薄片檢查
 

  對應(yīng)薄片制造廠家的需求,AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設(shè)計可以搬運(yùn)整盒25枚90 μm的極薄晶圓。
 

  高度實(shí)用性
 

  進(jìn)一步優(yōu)化的宏觀檢查
 

背面宏觀360゜旋轉(zhuǎn)
 

  宏觀檢查手臂可以360゜旋轉(zhuǎn),更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。
 

  利用360゜旋轉(zhuǎn)功能,*可以目視檢查整個晶圓(包括邊緣)。此外,在表面宏觀檢查中,使用操縱桿可隨意將晶圓大傾斜30゜進(jìn)行觀察。
 

  操作便捷
 

  為了滿足各種常規(guī)檢查的要求,AL120可以登記多達(dá)10個檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度??焖俨藛芜x擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。
 

  晶圓搬送機(jī)的菜單設(shè)置和設(shè)置參數(shù)都會在新型的LCD顯示器上顯示。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應(yīng)SLOT,便于操作者再次確認(rèn)。
 

  AL120半導(dǎo)體晶圓搬送及檢測顯微鏡使用非接觸光學(xué)定位、查找和對齊缺口/平面,可以減少晶圓和設(shè)備之間的接觸,提高晶圓的清潔度。
 

  高度可靠性
 

  優(yōu)先考慮晶圓和操作者的安全
 

  為了能夠安全的安裝晶圓,采用了在裝置正面放置片盒的設(shè)計。
 

  在安全性和人機(jī)工學(xué)上通過了SEMI S2/S8檢測,同時,在環(huán)境保護(hù)方面遵守了RoHS指令。
 

  堅固、耐用的顯微鏡底座
 

  AL120搭載奧林巴斯MX專業(yè)晶圓檢查顯微鏡系列,通過各種觀測方法,包括:明視場、暗視場、微分干涉(DIC)、近IR(近紅外線)和DUV(深紫外線),實(shí)現(xiàn)了的圖像分辨率和清晰度。電動物鏡轉(zhuǎn)換器和孔徑光闌相互鎖定,可以優(yōu)化各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制,AL120還可以應(yīng)用到其他型號的顯微鏡上。
 

  人機(jī)工程學(xué)設(shè)計的載物臺
 

  手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率,標(biāo)準(zhǔn)功能為XY軸控制和晶圓旋轉(zhuǎn)功能。
 

  可通過操縱桿或預(yù)編程的程序控制電動載物臺,進(jìn)一步將檢查過程自動化。只需一鍵便可驅(qū)動載物臺返回或離開load/unload位置及原點(diǎn)位置。

奧林巴斯(中國)有限公司

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手機(jī):15857110087

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