徠卡DM8000M 高級(jí)顯微鏡德國LEICA 徠卡晶圓和FPD檢查顯微鏡LEICA DM8000M LEICA DM12000M 是經(jīng)典的INM100,INM200,INM300顯微鏡的換代產(chǎn)品

徠卡DM8000M 高級(jí)顯微鏡產(chǎn)品特性● 0.7倍高級(jí)宏觀物鏡視野達(dá)到40毫米● 徠卡的立體斜照明，可以快速檢查晶圓表面的微小裂紋 ●所有物鏡均帶電子CODE,可被軟件自動(dòng)識(shí)別，刻度尺自動(dòng)伸縮，無需自選

徠卡DM8000M 高級(jí)顯微鏡 的超級(jí)暗場(chǎng)術(shù)背景更黑缺陷一目了然 ●

UV高分辨率，可以快速直接觀察到120納米的線條

●立體UV觀察，可以對(duì)凸塊，溝槽側(cè)壁清晰地觀察

 ●大型載物臺(tái)搭載：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圓全面檢查（DM12000M）

● 采用高NA的透射光聚光鏡，圖象更銳利

● 多種觀察方式，多種照明方式，多種附件以滿足不同應(yīng)用要求

● 透射和反射照明可同時(shí)使用，*提高液晶基板觀察效果LEICA DM8000M LEICA DM12000M 產(chǎn)品特點(diǎn)縮短檢查用時(shí)，提高檢查效率自動(dòng)聚焦附件透射光檢查照明的自動(dòng)聚焦附件可配合所有的反射光照明觀察方式，甚至包括暗視場(chǎng)和微分干涉相襯觀察。實(shí)現(xiàn)快速和精確的自動(dòng)對(duì)焦，甚至觀察方式轉(zhuǎn)換時(shí)也能實(shí)時(shí)準(zhǔn)確的找到焦面。兩種照明裝置可選，通用型及高數(shù)值孔徑型。為FPD，MASK板檢查提供合適的照明，并且可配備起偏鏡，實(shí)現(xiàn)投射光簡(jiǎn)易偏光觀察。高反差，更高分辨率，更高倍率檢查用于光刻膠殘留檢查的熒光觀察方式熒光分光鏡模塊 UV光學(xué)系統(tǒng)可以提供更高的反差和分辨率，分辨率可達(dá)0.12μm。

備有U.B.G等多種熒光方式可選，用于光顆膠殘留以及OLED檢查。方便的通訊接口用于顯微鏡倍率和孔徑光闌的控制和參數(shù)獲得 RS232C用于晶圓以及器件，甚至焊腳的內(nèi)部檢查近紅外線觀察附件標(biāo)配包括一個(gè)RS232C接口，使得用PC控制顯微鏡電動(dòng)部分成為可能，

并且可以實(shí)現(xiàn)使工藝線上的幾臺(tái)顯微鏡都在同樣的設(shè)定狀態(tài)下工作。包括專門的紅外物鏡等附件，對(duì)從可見光到近紅外波段光線的像差做矯正，用于IC深層或內(nèi)部檢查，可實(shí)現(xiàn)對(duì)WAFER BUMP的全面檢查自動(dòng)線寬CD測(cè)量附件以亞像素技術(shù)實(shí)現(xiàn)高度精確的CD測(cè)量，