目錄:杭州太昊科技有限公司>>氣體分析儀>> Transpector® MPH 殘余氣體分析儀
解放您的過程
的性能提高良率并使正常運行時間
持續(xù)上升的硅晶圓價格以及對成品的需求意味著廢棄晶圓需要付出較高的代價。因此，在半導體制造中心了解過程并監(jiān)測缺陷也變得更加重要。Transpector MPH 氣體分析系統(tǒng)專門用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應用中都實現(xiàn)業(yè)內(nèi)的性能，有助于最大限度地提高芯片產(chǎn)量，降低工具停工時間。Transpector MPH 兼具總擁有成本低和平均故障間隔時間長的優(yōu)點，在幫助您贏利方面的作用優(yōu)于市面上的任何其他殘余氣體分析儀 (RGA)。
INFICON 利用在氣體分析過程控制設備領域的專長制造的 RGA 具有行業(yè)先的數(shù)據(jù)采集速度，可檢分壓強和信噪比低。所有這些特性都不會犧牲 INFICON Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。
| Type | MPH100F | MPH100M | MPH200F | MPH200M | MPH300F | MPH300M | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 傳感器長度 | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | |
| 質(zhì)量范圍 | 100 amu | 100 amu | 200 amu | 200 amu | 300 amu | 300 amu | |
| 檢測器類型 | FC | FC/EM | FC | FC/EM | FC | FC/EM | |
| 靈敏度 (FC) | 6E-4 A/Torr | 6E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr | |
| 靈敏度 (EM) | NA | 500 A/Torr | NA | 500 A/Torr | NA | 250 A/Torr | |
| Z小可檢測分壓 (4) | 3E-13 Torr | 2E-15 Torr | 4E-13 Torr | 3E-15 Torr | 5E-13 Torr | 4E-15 Torr | |
| Z高傳感器工作溫度(FC) | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | |
| Z高傳感器工作溫度(EM) | NA | 150°C | NA | 150°C | NA | 150°C | |
| 絲極類型選件 (1) | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | |
| 絲極類型選件 (2) | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | |
| 分辨率（整個質(zhì)量范圍內(nèi)） | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | |
| 溫度系數(shù) | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | |
| 高每點數(shù)據(jù)率 | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | |
| 零沖擊（@ 質(zhì)量 2） | <5 ppm | <5 ppm | <65 ppm | <65 ppm | <100 ppm | <100 ppm | |
| Z大工作壓力 | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | |
| Z高烘烤溫度 | 300 | 300 | 300 | 300 | 300 | 300 | |
| 功率輸入 | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC |
(1) 用于一般應用
(2) 用于鹵素環(huán)境應用
(3) 在峰高的 10％ 處
(4) 4 秒的停留時間
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