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國產(chǎn)半導(dǎo)體迎來造芯新時(shí)代 護(hù)航光刻膠儲(chǔ)存和運(yùn)輸刻不容緩

來源:杭州澤大儀器有限公司   2023年09月15日 16:42  

近年來,面對(duì)寡頭壟斷格局,

中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)掀起了一股國產(chǎn)化替代的浪潮。

作為半導(dǎo)體制造的核心流程,

光刻工藝對(duì)于芯片制造來說至關(guān)重要,

而光刻膠正是光刻工藝最重要的耗材,

在光刻過程中起到防腐蝕的保護(hù)作用,

對(duì)光刻精度至關(guān)重要。

因此,光刻膠被稱為半導(dǎo)體材料上的明珠,

是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最關(guān)鍵的材料。


光刻膠.jpg


對(duì)于「造芯」,光刻膠有多重要?


光刻膠又稱光致抗蝕劑,是指通過紫外光、電子束、離子束、X射線等照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。


一般的半導(dǎo)體生產(chǎn)過程需要經(jīng)過光刻工藝,在光刻和蝕刻生產(chǎn)環(huán)節(jié)中,光刻膠涂覆于晶體薄膜表面,經(jīng)曝光、顯影和蝕刻等工序?qū)⒐庹?掩膜版)上的圖形轉(zhuǎn)移到薄膜上,形成與掩膜版對(duì)應(yīng)的幾何圖形。


在半導(dǎo)體領(lǐng)域,光刻膠主要用來制作晶圓,就是如下這個(gè)東西。


圓晶.jpg


在PCB領(lǐng)域,光刻膠分為干膜光刻膠、濕膜光刻膠、光成像阻焊油墨,主要用作微細(xì)圖形加工。


在面板顯示領(lǐng)域,光刻工藝同樣應(yīng)用于ITO sensor的制造。ITO sensor是通過將ITO材料按照特定的圖案,涂在玻璃或者Film上,然后貼在一層厚的保護(hù)玻璃上得到的,主要使用于觸屏應(yīng)用。


觸摸屏應(yīng)用.jpg


總結(jié)而言,光刻膠是IC制造的核心耗材,其質(zhì)量和性能是影響集成電路性能、成品率及可靠性的關(guān)鍵因素。約占IC制造材料總成本的5%。


試想一下,沒有了光刻膠就相當(dāng)于沒有了半導(dǎo)體的基礎(chǔ)材料,而沒有了半導(dǎo)體就沒有了芯片,我們就用不了手機(jī)、電腦等,這對(duì)我們?nèi)粘I畹挠绊懣上攵?/span>


光刻膠的儲(chǔ)存和運(yùn)輸


光刻膠是在半導(dǎo)體制造過程中使用的一種重要材料。它是一種可以通過光(例如紫外線)來改變其化學(xué)性質(zhì)的材料,進(jìn)而可以用來在硅片上形成微小的圖案。由于光刻膠的化學(xué)性質(zhì),對(duì)于存儲(chǔ)和運(yùn)輸?shù)臈l件要求尤為苛刻。


一、溫度控制

光刻膠通常需要在冷藏環(huán)境中存儲(chǔ),大多數(shù)光刻膠需要在4°C至10°C之間的溫度下存儲(chǔ)。在這個(gè)溫度范圍內(nèi),光刻膠可以保持其性質(zhì)穩(wěn)定。


光刻膠運(yùn)輸.jpg


如果光刻膠的儲(chǔ)存或運(yùn)輸溫度過高,可能會(huì)對(duì)其化學(xué)性質(zhì)產(chǎn)生不良影響,可能會(huì)出現(xiàn)以下幾種情況:


1.物理性質(zhì)改變:過高的溫度可能會(huì)導(dǎo)致光刻膠的粘度降低。粘度是液體阻力的度量,關(guān)系到光刻膠的涂覆過程。如果粘度降低,可能會(huì)影響涂覆的均勻性和厚度。高溫可能加速光刻膠中溶劑的揮發(fā),導(dǎo)致固含量增加。這可能影響到光刻膠涂覆后的干燥速度,以及圖案形成的質(zhì)量。高溫可能會(huì)破壞光刻膠中微粒的穩(wěn)定狀態(tài),使其發(fā)生沉淀或聚集,影響涂覆過程的均勻性。


2.化學(xué)反應(yīng):光刻膠是由一系列復(fù)雜的化學(xué)物質(zhì)組成的,過高的溫度可能會(huì)引發(fā)一些預(yù)期之外的化學(xué)反應(yīng),影響光刻膠的性能。光刻膠中的一些單體或預(yù)聚物在高溫下可能會(huì)加速聚合,導(dǎo)致光刻膠的粘度、固含量或光敏性發(fā)生變化。


3.光敏性變化:光刻膠中的光敏劑在高溫下可能會(huì)加速降解,導(dǎo)致光敏性降低,影響曝光過程,這可能會(huì)影響到在硅片上形成圖案的精度和復(fù)雜度。保存期限縮短:過高的儲(chǔ)存溫度會(huì)加速光刻膠中各種化學(xué)反應(yīng)的速度,導(dǎo)致光刻膠的性能下降,因此會(huì)縮短其有效保存時(shí)間。一般來說,許多光刻膠在推薦的儲(chǔ)存條件(通常是4°C至10°C)下,有效期可以達(dá)到一年或更長(zhǎng)。但如果儲(chǔ)存溫度過高(比如超過30°C),保存時(shí)間可能會(huì)大幅縮短,可能只有幾個(gè)月,甚至更短。


二、避光處理

光刻膠對(duì)光,尤其是紫外線非常敏感。暴露在光線中可能會(huì)引發(fā)光刻膠的光化學(xué)反應(yīng),使得其性質(zhì)發(fā)生改變,因此在儲(chǔ)存和運(yùn)輸過程中,需要對(duì)光刻膠做好避光處理。在儲(chǔ)存和運(yùn)輸光刻膠的過程中,可以使用不透光的材料進(jìn)行包裝,例如不透光的塑料瓶或者金屬罐。這可以有效阻擋光線對(duì)光刻膠的影響。將光刻膠存儲(chǔ)在無窗或者窗戶有遮光窗簾的室內(nèi)環(huán)境,避免光線直接照射到光刻膠。在運(yùn)輸過程中,也可以使用遮光的運(yùn)輸工具。在使用過程中,盡量減少光刻膠暴露在光線下的時(shí)間。在不使用時(shí),立即將光刻膠放回遮光的儲(chǔ)存環(huán)境。


避光處理.jpg


三、運(yùn)輸規(guī)定

光刻膠作為一種化學(xué)品,在運(yùn)輸過程中的確需要遵守相關(guān)的危險(xiǎn)品運(yùn)輸規(guī)定。根據(jù)國際危險(xiǎn)品運(yùn)輸法規(guī),所有的危險(xiǎn)品都需要被正確地分類并貼上相應(yīng)的標(biāo)簽,以表明其危險(xiǎn)性質(zhì)。運(yùn)輸危險(xiǎn)品需要有相應(yīng)的運(yùn)輸文檔,包括安全數(shù)據(jù)表(SDS)和危險(xiǎn)品運(yùn)輸聲明。危險(xiǎn)品的運(yùn)輸工具需要有相應(yīng)的安全設(shè)備,例如消防器材。某些危險(xiǎn)品可能還有特定的運(yùn)輸路線要求。參與危險(xiǎn)品運(yùn)輸?shù)娜藛T需要接受相應(yīng)的培訓(xùn),了解如何安全地處理危險(xiǎn)品。


因此,光刻膠在儲(chǔ)存和運(yùn)輸過程中,溫度監(jiān)測(cè)尤為重要。澤大儀器PDF溫度記錄儀外形小巧、溫感靈敏,防護(hù)等級(jí)高達(dá)IP67,可用于監(jiān)視和記錄產(chǎn)品儲(chǔ)存和運(yùn)輸中的溫度,驗(yàn)收時(shí)通過其USB端口連接到計(jì)算機(jī),并導(dǎo)出PDF報(bào)告,使運(yùn)輸過程更加便利,交貨便捷,提高效率。產(chǎn)品溫度范圍在-30℃~60℃,符合光刻膠儲(chǔ)存和運(yùn)輸?shù)臏囟纫蟆?/span>


無顯示屏款.jpg


芯片之基,國之砝碼


光刻膠在全球市場(chǎng)上越來越占據(jù)重要地位。


然而,光刻膠屬于高技術(shù)壁壘材料,需要與光刻機(jī)配合使用,生產(chǎn)復(fù)雜,純度要求高,需要長(zhǎng)期技術(shù)積累。光刻膠產(chǎn)業(yè)是典型的技術(shù)和資本雙密集型產(chǎn)業(yè),其中,半導(dǎo)體光刻膠的生產(chǎn)難度最大。光刻膠市場(chǎng)主要由日本和美國壟斷,其中日本占比72%,而大陸企業(yè)市占率不足13%。


所以想不再受制于人,光做出國產(chǎn)光刻機(jī)還不行,原材料方面也必須實(shí)現(xiàn)全面自主化。


根據(jù)資料顯示,徐州博康成立于2010年3月,位于江蘇省邳州經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū),是一家集研發(fā)、生產(chǎn)、經(jīng)營光刻膠、光刻膠單體和光刻膠樹脂為主的國家高新技術(shù)企業(yè)。


徐州博康.jpg


徐州博康一直很低調(diào),所以不被大眾熟知,但是他常年給國外光刻膠大廠提供核心原材料,客戶包括JSR、TOK、東麗等等。同時(shí),徐州博康還擁有自主且完整的光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈,已經(jīng)實(shí)現(xiàn)從單體材料、專用樹脂、光酸以及最終光刻膠產(chǎn)品的全品類國產(chǎn)化,也是目前國內(nèi)一家可以規(guī)?;a(chǎn)光刻膠單體材料的企業(yè)。


華為正在全力攻克半導(dǎo)體領(lǐng)域里的各種關(guān)鍵技術(shù)和設(shè)備,此次其全資子公司哈勃入股徐州博康,也意味著華為正式進(jìn)入了光刻膠領(lǐng)域。


所以,我們也希望徐州博康在華為的加持下,能夠幫助中國半導(dǎo)體行業(yè)盡快實(shí)現(xiàn)光刻膠的國產(chǎn)化替代。


半導(dǎo)體.jpg


那么通過華為不斷地在半導(dǎo)體領(lǐng)域持續(xù)投資,我們也能夠感受到,華為極有可能正在培育自己的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈,如果這是真的,那么對(duì)于國產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)來說,必然是一針強(qiáng)心劑。

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