99草草视频在线精品,午夜福利片在线等最新內容

直播推薦

企業(yè)動態(tài)

推薦展會

展會城市：株洲市展會時間：2025-05-08

歡迎聯系我

有什么可以幫您？在線咨詢

全自動離子刻蝕機 MEL 3100 應用于集成電路制造中刻蝕

來源：伯東企業(yè)（上海）有限公司 2023年01月05日 14:23

某半導體制造公司, 采用Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100運用在集成電路制造的刻蝕工藝.

Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 技術參數:

Model	MEL3100
Wafer size	3"～6"
Wafer per batch	1 wafer
Cassette No.	25 wafers
Cassette Q'ty	1pc.
Throughput	10 (wafer/hr) *1
Pressure Ultimate	8×10-5 (Pa) *2
Pressure Process	2×10-2 (Pa) *2
Etching Rate	>10 (nm/min)@SiO2 *3
Etching Uniformity	±5%@132mm (6") *3
Wafer surface temp.	<100℃ *3
Stage rotating	1～20 (rpm) ±5%
Stage tilting	±90°±0.5°
*1: Estimated process time 5min
*2: No wafer on stege / process chamber
*3: Depending on process

Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 產品優(yōu)勢：

1. 所有流程全自動減少人工操作, 從而保證了產品的無差錯、高穩(wěn)定性和高質量

2. 盒式房間采用高效微粒過濾器

3. 采用高質量的蝕刻考夫曼離子源, 保證良好的均勻性和高蝕刻率

4. 占用空間小

5. 傳輸系統(tǒng)采用了 SCARA 型機器人

6. 控制單元系統(tǒng)提供操作通過觸摸屏/ 10.4英寸, 數據記錄可以顯示在屏幕上

7. 高冷卻效果

8. 良好的重復性和再現性的旋轉和傾斜階段具有良好的可重復性利用脈沖電動機

9. 容易維護這個系統(tǒng)設計重點是容易維護和用戶友好

10. 關鍵部件服務伯東的經銷商是系統(tǒng)中的關鍵部件渦輪泵系統(tǒng)、離子源提供客戶快速響應時間和本地服務能力,減少停機時間的工具

若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 , 請參考以下聯絡方式 :

上海伯東 : 羅先生

凡本網注明“來源：儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
本網轉載并注明自其他來源（非儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。