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掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope，SEM)簡稱為掃描電鏡，它是用細(xì)聚焦的電子束轟擊樣品表面，通過電子與樣品相互作用產(chǎn)生的二次電子、背散射電子等對樣品表面或斷口形貌進(jìn)行觀察和分析，可廣泛應(yīng)用于材料、冶金、礦物、生物學(xué)領(lǐng)域。
一般來說，掃描電子顯微鏡由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號收集和顯示系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、電源系統(tǒng)組成。
1、電子光學(xué)系統(tǒng)
組成：電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件。
作用：獲得掃描電子束、作為產(chǎn)生物理信號的激發(fā)源。
2、信號收集和顯示系統(tǒng)
信號收集：二次電子和背散射電子收集器、吸收電子顯示器、X射線檢測器(波譜儀和能譜儀)
顯示系統(tǒng)：顯示屏有兩個，一個用于觀察，一個用于記錄照相。
3、真空系統(tǒng)
組成：機(jī)械泵、擴(kuò)散泵
作用：保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作，提供高真空度，防止樣品污染，保持燈絲壽命，防止極間放電。
4、電源系統(tǒng)
包括啟動的各種電源，檢測-放大系統(tǒng)電源，光電倍增管電源，真空系統(tǒng)和成像系統(tǒng)電源燈。還有穩(wěn)壓、穩(wěn)流及相應(yīng)的安全保護(hù)電路。
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