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離子濺射儀原理及常見故障

   2022年03月22日 13:42  
  離子濺射儀是一種鍍膜裝置,能夠被掃描電鏡、電子探針等儀器用來對(duì)試樣進(jìn)行制備,是教學(xué)科研實(shí)驗(yàn)得以開展的儀器。離子濺射儀擁有緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng),對(duì)于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。其原理是以荷能正離子對(duì)靶電極轟擊使得濺射現(xiàn)象產(chǎn)生為基礎(chǔ),在基臺(tái)上樣品表面靶被濺射出來的中性原子沉淀成膜,使得導(dǎo)電層形成。
 
  離子濺射儀通常為二級(jí)結(jié)構(gòu),通過臺(tái)和樣品架為正電極連接儀器外殼并且接地,負(fù)電極(加負(fù)高壓)為濺射靶電極。真空腔在玻璃罩內(nèi)安裝好后,當(dāng)腔內(nèi)達(dá)到一定的真空度,在電場(chǎng)加速下得到充足的能量后,對(duì)負(fù)電極上的靶面進(jìn)行轟擊,靶面被濺射后,原子在基臺(tái)的樣品表面沉淀形成導(dǎo)電膜。
 
  離子濺射儀常見故障:
 
  1.使用一段時(shí)間后,濺射電流變?。簩?duì)靶材有無變色、破裂和油污等現(xiàn)進(jìn)行檢查,若是靶材變色或破裂,要對(duì)靶材進(jìn)行更換;若是有油污,則用無水乙醇進(jìn)行清潔,等到干了以后才能夠抽真空;
 
  2.在使用一段時(shí)間以后,有著過低的真空:檢查濺射室中或管道內(nèi)是否有油,可以使用汽油進(jìn)行清洗;
 
  3.濺射電流不穩(wěn)定忽高忽低:陰極罩與靶的固定環(huán)有著過近的距離,將陰極罩逆時(shí)針旋轉(zhuǎn),對(duì)間距進(jìn)行調(diào)整;
 
  4.過低的真空:將放氣閥、漏氣閥和觀察泵的油窗液面旋緊;
 
  5.真空泵出現(xiàn)反油現(xiàn)象:機(jī)械真空泵長(zhǎng)期保持極限真空。

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