爐體結(jié)構(gòu)和真空腔體

• 采用兩個溫度控制器，分別控制頂部和底部兩組加熱元件。安裝有浮子流量計，可向真空腔體中通入氣體
• 真空腔體為一高純的石英管，其尺寸為：11" OD/10.8" ID x 9" Hmm

真空法蘭

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• 真空法蘭為316不銹鋼制作
• 頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的出氣口
• 底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的進(jìn)氣口
• 法蘭是通過兩個硅膠O型圈進(jìn)行密封，用機械泵其腔體內(nèi)真空度可達(dá)10^-2 torr，用分子泵其腔體內(nèi)真空度可達(dá)10^-4torr.

加熱元件和載樣臺

• 由兩組紅外燈管作為加熱元件，分別位于頂部和底部
• 兩個加熱臺之間的距離可以通過直流電機調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍為：2-50mm
• 為了減少熱量輻射和達(dá)到較快的冷卻速率，加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中，（不銹鋼殼體采用316不銹鋼制作）
• 采用導(dǎo)熱率較高的氮化鋁陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作為載樣臺，以達(dá)到較好的加熱均勻性
• 底部載樣臺上可放入5"x5"的石墨坩堝來盛放蒸發(fā)原料
• 此款儀器使用時需要配用一循環(huán)水冷機（16L/m)

  

溫控系統(tǒng)

• 兩個精密的溫控系統(tǒng)分別獨立控制上下兩個加熱區(qū)，可設(shè)置30段升降溫程序
• 每個溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護(hù)
• PC通訊接口，軟件可安裝，可將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中
• 控溫儀表操作視頻
• 

工作溫度

• zui高工作溫度為：800℃
• 兩個加熱區(qū)之間的zui大溫差為300℃

加熱和冷卻速率

• 加熱速率> 8ºC/s（每個溫區(qū)單獨加熱）
• 冷卻速率> 10ºC/s (600 - 100ºC)

熱電偶

兩個K型熱電偶，安裝在頂部和底部，都與氮化鋁陶瓷片相接觸

工作電壓

208 - 240VAC, 單相,（需要20A的空氣開關(guān)）

功率

3000W

可選

• 實驗時需要一個真空泵，可與本公司選購真空泵
• 采用機械泵可使腔體內(nèi)的真空度達(dá)到< = 10E-2 torr
• 若要使真空腔體內(nèi)達(dá)到更潔凈的工作環(huán)境，可換購無油泵
• 也可選購質(zhì)子流量計混氣系統(tǒng)，將實驗所需氣體安比列混好后導(dǎo)入到真空腔體中
•   

質(zhì)保

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包括密封圈、加熱元件和石英管）

• 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
• 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
• 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)
• 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
• 石英管的長時間使用溫度＜1100℃
• 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）