實驗機理                             

• 輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm3
• 電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍

產(chǎn)品特點

• 雖環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性。因此，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。
• 科晶公司提供定制的薄膜材料的實驗室質(zhì)量可靠、價格合理的緊湊型PECVD系統(tǒng)。
• 下圖顯示的是PECVD法用500W交流等離子體與OTF1200X50、7通道精密質(zhì)量流量計和高真空系統(tǒng)氣體組成

開啟式管式爐

• 工作溫度：1200℃
• 爐管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80都可用
• 溫度控制器：30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器
• 加熱區(qū)長度：440mm
• 恒溫區(qū)長度：150mm 注：由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結(jié)果可能會有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員 
• 功率：AC 220V 4KW

等離子射頻電源                       

• 輸出功率：50-500Wzui大可調(diào)±1%
• RF頻率： 13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005%
• 噪聲：≤55DB
• 冷卻：風冷
• 輸入功率：1KW  AC 220V

真空泵和閥門                          

• 采用KF25系列波紋管和精密針閥連接
• 真空度可達10-3torr
• 本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10^-5至 1125Torr.不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點擊圖片查看詳細介紹）
  

質(zhì)量流量計

• 內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計可準確的控制氣體流量
• 氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02%
• 一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥
• 不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入
• 進氣口：采用標準雙卡套接頭

細節(jié)圖展示

外形尺寸

• 爐體：550*380*520mm
• 供氣及真空系統(tǒng)：600*600*597mm
• 凈重：120KG

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期相關(guān)耗材除外，如加熱元件，密封圈等易耗件

質(zhì)量認證

•  CE認證
• 所有電器元件（>24V）都通過UL / MET / CSA認證
• 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證
       

國家

名稱：可組合式等離子增強化學(xué)氣相沉積裝置

編-2011-2-0355777.1

尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權(quán)必究

• 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
• 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
• 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)
• 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
• 石英管的長時間使用溫度＜1100℃
• 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）