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SU8010日立掃描電子顯微鏡

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日立2011年新推出了它的后續(xù)機型---- SU8010日立掃描電子顯微鏡,它繼承了S-4800的優(yōu)點,性能有進一步提高,1kv使用減速功能后,分辨率提升到1.3nm,相對于S-4800可以在更低的加速電壓下呈高分辨像,明顯提升了以往很難觀測的低原子序數(shù)樣品的觀測效果。

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日立2005年在中國推出了S-4800型高分辨場發(fā)射掃描電鏡,由于出色的應(yīng)用性能、良好的穩(wěn)定性和簡易的維護,收到了各界用戶的*好評。

日立2011年新推出了它的后續(xù)機型---- SU8010日立掃描電子顯微鏡,它繼承了S-4800的優(yōu)點,性能有進一步提高,1kv使用減速功能后,分辨率提升到1.3nm,相對于S-4800可以在更低的加速電壓下呈高分辨像,明顯提升了以往很難觀測的低原子序數(shù)樣品的觀測效果。

SU8010日立掃描電子顯微鏡特點:

1. 優(yōu)秀的低加速電壓成像能力,1kv分辨率可達1.3nm

2. 日立的ExB設(shè)計,不需噴鍍,可以直接觀測不導(dǎo)電樣品

3. Upper探頭可選擇接受二次電子像或背散射電子像

4. 可以根據(jù)樣品類型和觀測要求選擇打開或關(guān)閉減速功能

5. 標配有冷指、電子槍內(nèi)置加熱器,物鏡光闌具有自清潔功能

6. 儀器的烘烤維護及烘烤后的透鏡機械對中均可由用戶自行完成

SU8010日立掃描電子顯微鏡的技術(shù)規(guī)格:

二次電子分辨率1.0nm(加速電壓15kV、WD=4mm)
1.3nm(加速電壓1kV、WD=1.5mm)
加速電壓0.1~30kV
觀測倍率20~8000,000(底片輸出)
60~2,000,000(顯示器輸出)
樣品臺
馬達驅(qū)動3軸馬達
5軸(選配)
行程X0~50mm
Y0~50mm
Z360°
T-5~70°
R1.5~30mm
zui大裝載尺寸100mm(zui大)
150mm(選配)
探頭
標配Lower高立體感圖像
Upper高分辨SE、BSE圖像
 
選配
STEM明場像、暗場像
YAG 探頭BSE圖像
半導(dǎo)體探頭BSE圖像
EBIC電子束感生電流圖像
EDS元素分析
反污染措施
冷指標配
物鏡光闌內(nèi)置自清潔功能
電子槍內(nèi)置加熱器
真空系統(tǒng)
離子泵3臺
分子泵1臺
機械泵1臺
 


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