25  臺面寬度：

25:250mm 30:300mm

300   有效行程：

100:100mm 200:200mm

300:300mm

S      基座材質：

A:鋁合金

S:大理石

C:碳化硅

B    分辨率：

1:0.1 μm S:50nm

B:20nm

N    電機類型：

N:無鐵芯

M:有鐵芯

A    臺面材質：

A:鋁合金

T:其它

臺面尺寸(mm)

245x200(運動方向)

厚度(mm)

120

移動量(mm)

100

200

300

400

光柵尺分辨率(nm)

20

驅動方式

無鐵芯直線電機

導軌

一體式靜壓導軌

雙向重復精度(μm)

0.4

無*正定位精度(μm)

1.2

直線度(μm)

2

2.5

3

3

俯仰(arcsec)

4.5

偏擺(arcsec)

2.1

主體材料及表面處理

鋁合金，黑色硬質陽極氧化處理

中心負載(Kg)

10/μm

臺面尺寸(mm)

290x200(運動方向)

厚度(mm)

189

移動量(mm)

400

500

600

800

光柵尺分辨率(nm)

20

驅動方式

無鐵芯直線電機

導軌

氣浮腳式靜壓導軌

雙向重復精度(um)

0.3

無*正定位精度(μm)

1.2

直線度(μm)

2

3

5

5

俯仰(arcsec)

2

偏擺(arcsec)

2

主體材料及表面處理

大理石，鋁合金

中心負載(Kg)

15/um

材質

鋁合金

大理石

碳化硅陶瓷

導軌長度(mm)

200~800

400~3000

400~2000

外形尺寸(mm)

超小~中

中~超大

小、中、大

制作方式

機加工

磨削

燒制

重復精度(μm)

0.3

0.3

0.25

直線度(μm)

1~3

2~5

2~3

組合形式

X, XY(小)

X、XY、龍門

X、XY、龍門

造價(元)

1~10

5~100

50~1000