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STS 系列綜合光電性能測試系統(tǒng)

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STS 系列綜合光電性能測試系統(tǒng)，基于RTS-mini顯微系統(tǒng)而搭建，集成拉曼/熒光/光電流原位測試功能，配合高精度微米電動位移臺，實現(xiàn)Raman/PL Mapping及激光誘導(dǎo)光電流成像。深度表征材料內(nèi)部分子振動能級與轉(zhuǎn)動能級結(jié)構(gòu)信息，光生載流子的生成與復(fù)合機制，器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性，光電材料界面及半導(dǎo)體結(jié)區(qū)的品質(zhì)分布等。

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STS 系列綜合光電性能測試系統(tǒng)

產(chǎn)品概述

基于RTS-mini顯微系統(tǒng)而搭建，集成拉曼/熒光/光電流原位測試功能。該系統(tǒng)可原位探測拉曼、熒光及光電流信號。配合高精度微米電動位移臺，實現(xiàn)Raman Mapping，PL Mapping以及激光誘導(dǎo)光電流成像（LBIC)。深度表征材料內(nèi)部的分子振動能級與轉(zhuǎn)動能級結(jié)構(gòu)信息，光生載流子的生成與復(fù)合機制，器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性，光電材料界面以及半導(dǎo)體結(jié)區(qū)的品質(zhì)分布等特性。

STS 系列綜合光電性能測試系統(tǒng)

STS 系列綜合光電性能測試系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

拉曼/拉曼Mapping

拉曼頻移范圍

60-6000cm-1 @532nm激光器

共焦方式

光纖共聚焦

高靈敏度

硅三階拉曼峰的信噪比好于20:1，并能觀察到四階峰

空間分辨率

≤1μm@100X物鏡，NA0.9，532nm單縱模激光器

光譜CCD探測器

分辨率≥2000x256

量子效率在700nm-870nm區(qū)間處>90%，

光譜范圍：200 ~ 1100 nm

熒光/熒光壽命成像

光譜掃描范圍

200-900nm

最小時間分辨率

16ps

熒光壽命測量范圍

500ps-10μs

空間分辨率

≤1μm@100X物鏡@405nm皮秒脈沖激光器

光電流/光電流成像

激光器（光源）

標配532nm激光器，能量穩(wěn)定性1%@4小時

可選配2路激光器用于光電流測試

數(shù)據(jù)采集

電流源表：Keithley 2450

測量范圍：1nA – 1A

暗噪聲：50pA

分辨率：20fA

準確度： 0.03%

探針臺

直徑65mm真空吸附卡盤

探針座和樣品整體二維移動，方便樣品位置與光斑位置重合

樣品位置單獨二維移動，方便同類樣品更換

樣品位置移動行程25mm，分辨率5μm

探針座：XYZ行程12mm，分辨率0.7μm

探針：鎢針，直徑5μm，10μm，20μm可選

測試功能

光電流掃描（Mapping）：可以設(shè)定固定的電壓，逐點獲取電流值

I-V曲線掃描（Mapping）：可以設(shè)定*定的電壓區(qū)間，逐點獲取I-V曲線


北京卓立漢光儀器有限公司

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