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PUR-TX michell高純氣體露點變送器PUR-TX

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亮點
??測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV 1/10億)
??測量穩(wěn)定,重復性好
??高度集成的采樣裝置
??模擬和數(shù)字輸出
??安裝簡便
??VCR 過程接口
??設計緊湊小巧
??顯示/報警單元可選

詳細信息 在線詢價

PUR-TX 高純氣露點變送器 / 在線露點儀

在很多超純氣應用,諸如半導體工業(yè)中,氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關重要。一直以來,對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點,需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經濟的、相當有效的方案,用來在線測量露點值,下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)

Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產和校驗的專業(yè)經驗,結合標準工業(yè)化的材料和制造流程,打造出的*適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應用的低價位變送器。


亮點

· 測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV 1/10)

· 測量穩(wěn)定,重復性好

· 高度集成的采樣裝置

· 模擬和數(shù)字輸出

· 安裝簡便

· VCR 過程接口

· 設計緊湊小巧

· 顯示/報警單元可選



技術指標

傳感器

傳感器類型

密析爾陶瓷濕度傳感器

量程

-120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)

精度

±1°C -40 ~ -60°C;
±2°C -61 ~ -100°C;
±4°C -101 ~ -120°C (
估算值)

分辨率

0.1°C -40 ~ -79.9°C;
1°C -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C -100 ~ -120°C

壓力

zui低 10-9 torr; zui大 24 MPa

氣體流量

1 ~ 5 Nl/min

電氣

電源

通常 24 V DC, zui低10 V ~ zui高28 V , zui大電流 25 mA

輸出

4-20 mA 輸出, 對應范圍可由軟件調整, 調整量程從 1 ~ 80°C (標配提供)
zui大負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)

輸出出錯狀態(tài)

標準輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限

機械性能

傳感器套筒

不銹鋼, 0.1-0.2 Ra ?m 電鍍內拋光



氣路連接端口

Premium OEM : ?' m VCR 接口
Pura Sensor : ?' m VCR 接口

安裝配置

Premium OEM : 120.00mm , 氣路端口的端面密封. 無需預留管路空隙
底座上有 2 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm
Pura Sensor
: 適用于用戶提供的 ?' VCR 端口中

尺寸

Premium OEM : 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor
: 132 x 35mm

重量

Premium OEM : 450g
Pura Sensor
: 180g

包裝

Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封
Pura OEM Pura Sensor : 單層包裝
所有選配件: 獨立包裝運輸
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作



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