閉循環(huán)低溫探針臺(tái)半導(dǎo)體測(cè)試儀，LH-CRPS-10K是一種低成本無(wú)需消耗制冷劑，依靠制冷機(jī)提供冷源的閉循環(huán)低溫探針臺(tái)。此款低溫探針臺(tái)設(shè)計(jì)的初衷就是操作便利性和可靠的專業(yè)測(cè)量能力，為制冷劑獲得比較困難的客戶提供了一個(gè)可行的解決方案。通過(guò)閉循環(huán)制冷機(jī)降溫，降溫過(guò)程中不需要其它輔助設(shè)備，只需要很少的電能即可，也不需要科研人員值守操作。
豐富的選件和配置確?？蒲腥藛T能夠?qū)嵤﹪?yán)苛的、富有挑戰(zhàn)的測(cè)試測(cè)量。LH-CRPS-10K是德世閉循環(huán)探針臺(tái)家族中價(jià)格蕞低的一款探針臺(tái)，蕞低溫度低于10K，它的多功能性和可靠低溫性能，成為了世界各地科研工作者的首先。多個(gè)溫度傳感器分布于探針臺(tái)各個(gè)位置，確保溫度監(jiān)視和測(cè)量的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。由于是二級(jí)制冷平臺(tái)制冷機(jī)提供冷源，這樣能保證樣品溫度維持在相對(duì)較高的溫度，同時(shí)樣品處于真空環(huán)境中，減少了凝結(jié)的可能性，在一些有機(jī)材料的嚴(yán)格測(cè)試要求中這一點(diǎn)比較重要。
閉循環(huán)低溫探針臺(tái)半導(dǎo)體測(cè)試儀
LH-CRPS-10K可以實(shí)現(xiàn)I-V、C-V等測(cè)試，蕞大可安裝樣品臺(tái)直徑51mm(2in)，出廠時(shí)標(biāo)準(zhǔn)配置三同軸樣品臺(tái)，標(biāo)準(zhǔn)溫度范圍10K-350K，選件可實(shí)現(xiàn)溫度范圍20K-675K。
特點(diǎn):
無(wú)需消耗制冷劑
全程無(wú)值守降溫
豐富的選件和配件
遠(yuǎn)程軟件控溫
德世蕞低成本的閉循環(huán)制冷機(jī)探針臺(tái)
1.兩級(jí)制冷平臺(tái)制冷機(jī)提供冷源，一級(jí)制冷平臺(tái)冷卻輻射屏，二級(jí)制冷平臺(tái)冷卻樣品臺(tái)
2.防輻射屏包圍著樣品臺(tái)，頂端帶有可視窗口，安裝紅外吸收石英窗片
3.兩級(jí)制冷平臺(tái)制冷機(jī)，在10K時(shí)有3.5w的制冷量
溫度屬性 |
蕞低溫度 | 控溫范圍 | 配置 |
8K | 8.5K-350K | 2個(gè)探針臂 |
9K | 9.5K-350K | 4個(gè)探針臂 |
10K | 10.5K-350K | 6個(gè)探針臂 |
20K | 20K-675K | 高溫樣品臺(tái) |
控溫穩(wěn)定性 |
溫度范圍 | 穩(wěn)定性 |
蕞低溫不控溫 |
|
<10K | ±50mK |
11K-100K | ±10mK |
101K-250K | ±10mK |
351K-675K | ±50mK |
真空性能 |
室溫 | <5X10-3Pa |
蕞低溫 | <5X10-4Pa |
蕞高溫 | <5X10-3Pa |
注：以上數(shù)據(jù)使用600L渦輪分子泵組得到 |
樣品振動(dòng) |
X方向 | <5μm |
Y方向 | <5μm |
Z方向 | <1μm |
注：可選低振動(dòng)配置，各方向振動(dòng)<1μm |
時(shí)間參數(shù)：
◆抽空時(shí)間：0.5h(與泵組相關(guān))
◆降溫時(shí)間：從室溫到蕞低溫2.5h
◆升溫時(shí)間：從蕞低溫到室溫2h
樣品臺(tái)：
◆標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)：51mm(2in)
◆樣品臺(tái)背光：無(wú)
◆樣品臺(tái)類型：三同軸樣品臺(tái)(標(biāo)配)、接地樣品臺(tái)(選配)、0.15T垂直磁場(chǎng)樣品臺(tái)(選配)
◆樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)：無(wú)
探針：
◆探針數(shù)量：蕞多6個(gè)
◆探針傳感器：硅二極管，監(jiān)視探針溫度
◆探針托溫度：<20K樣品臺(tái)處于蕞低溫度
◆探針熱沉：熱沉到樣品臺(tái)或者相同溫度的防輻射屏
◆探針臂：熱沉到防輻射屏
◆DC/RF探針：絕緣電阻>100GΩ,漏電流<100fA
◆微波探針：DC到67GHz,用于微波測(cè)量
◆光纖探針：用于光電測(cè)量，可選FC/APC或者SMA905接口，波長(zhǎng)可選
探針位移：
◆X方向行程：75mm,移動(dòng)分辨率3μm
◆Y方向行程：25mm,移動(dòng)分辨率5μm
◆Z方向行程：25mm,移動(dòng)分辨率5μm
顯微鏡配置
3400萬(wàn)像素CCD相機(jī)
支持4K視頻錄制
4條水平線4條垂直線，帶測(cè)量軟件
標(biāo)準(zhǔn)HDMI接口
電子縮放1x-10x
景深同軸光鏡頭，帶LED同軸光源
光學(xué)倍數(shù)0.7-5X，連續(xù)變倍比7.1:1
電子倍數(shù)20-200x
成像距離140-180mm
景深高度：10mm
觀看面積1mm-18mm
制冷劑消耗：
◆室溫到蕞低溫度：不需要
◆液氦消耗(5K):不需要
探針臺(tái)配置
溫度配置 |
樣品臺(tái)傳感器加熱器 | 硅二極管傳感器、100W加熱器 |
防輻射屏傳感器加熱器 | 硅二極管傳感器、100W加熱器 |
二級(jí)制冷平臺(tái)傳感器加熱器 | 硅二極管傳感器、100W加熱器 |
探針臂傳感器 | 硅二極管傳感器(安裝在其中一個(gè)針臂) |
溫度控制 |
控溫儀型號(hào) | 斯坦福CTC100四通道溫度控制器 |
低溫輸液管 | 不需要 |
低溫液體儲(chǔ)存罐 | 不需要 |
支架 |
支架尺寸 | 長(zhǎng)寬高660X660X640mm(不含地腳) |
地腳 | 4個(gè)橡膠減振地腳，承重500公斤 |
桌面 | 長(zhǎng)寬厚710X710X20mm |
真空腔體 |
材料 | 鋁本色氧化(可選不銹鋼電鍍鉻) |
外部直徑高度 | 245X170mm |
內(nèi)部直徑高度 | 215X165mm |
可視窗凈尺寸 | φ65毫米，紅外吸收石英窗口 |
真空抽口 | KF16 |
真空閥門 | KF16手動(dòng)擋板閥 |
放氣閥 | 手動(dòng)放氣閥 |
預(yù)留接口 | 預(yù)留通用安裝接口 |
探針引出口 | 六個(gè)真空三同軸接口(DC探針，選擇其它探針，接口不同) |
防輻射屏 |
材料 | 銅鍍金 |
外徑 | 182mm |
可視窗凈尺寸 | 45mm,配紅外吸收窗口 |
抽空泵組 |
分子泵組 | 可選(客戶可自備) |
機(jī)械泵組 | 可選(客戶可自備) |
抽空減振塊 |
抽空減振塊 | KF25進(jìn)出氣口，重量20公斤 |
配電要求 |
單相電壓 | 220V/50Hz |
單相功率 | 1KW |
三相電壓 | 三相五線制，380V/50Hz |
三相功率 | 6KW |
水冷要求 |
制冷功率 | 5KW@25℃ |
水流量 | 7L-10L/min(28℃) |
三相電壓 | 三相五線制，380V/50Hz |
三相功率 | 3KW |
樣品托
接地樣品托
直接安裝在樣品臺(tái)，盡量減小對(duì)樣品的溫度梯度，與整個(gè)探針臺(tái)電器接通
注：可選圓形和方形，性能無(wú)差異
同軸樣品托
樣品托表面與探針臺(tái)整體電器絕緣，通過(guò)BNC接口穿過(guò)真空室
注：可選圓形和方形，性能無(wú)差異
三同軸樣品托
在同軸樣品托的基礎(chǔ)上增加GUARD層，層與層之間電器絕緣，提供保護(hù)電壓層，減小漏電流
注：可選圓形和方形，性能無(wú)差異
磁場(chǎng)樣品托
磁場(chǎng)樣品托提供了一種低成本便捷的磁場(chǎng)測(cè)試環(huán)境，樣品托安裝在樣品臺(tái)上，和探針臺(tái)整體供地。磁場(chǎng)樣品托一套包括四種磁場(chǎng)產(chǎn)生環(huán)和一個(gè)安裝托。
根據(jù)不同的磁場(chǎng)需求，選擇使用不同的磁場(chǎng)產(chǎn)生環(huán)。四個(gè)磁場(chǎng)產(chǎn)生環(huán)分別能產(chǎn)生0.2T、0.18T、0.15T、0.1T磁場(chǎng)。
樣品托配置
| 類型 | 接口 | 尺寸 |
設(shè)備包括 | 接地樣品托 | 無(wú) | φ51mm(2in) |
選件 | 接地樣品托 | φ51mm(2in) |
同軸樣品托 | BNC | φ51mm(2in) |
三同軸樣品托 | TRIAX | φ51mm(2in) |
注：其它尺寸樣品托接受定制 |
樣品托性能
| 電絕緣 | 溫差 | 溫度 |
接地樣品托 | 導(dǎo)通 | 0.1K-0.2K | 400K |
同軸樣品托 | >100MΩ | ≈1K | 400K |
三同軸樣品托 | >100GΩ | ≈1K-2K | 400K |
1.電絕緣測(cè)試是在10V電壓情況下，測(cè)量導(dǎo)電面之間的電阻 2.溫差是樣品托表面和樣品臺(tái)之間存在的溫差。樣品的熱接觸好壞以及樣品大小，都會(huì)對(duì)溫差產(chǎn)生影響，熱接觸不充分樣品負(fù)載大，會(huì)增加溫差。 |
接口
BNC | 同軸樣品托-配2耳BNC真空接口以極低溫同軸線纜 |
TRIAX | 三同軸樣品托-配3耳三同軸真空接口以及低溫同軸線 |
探針臂配置
德世標(biāo)準(zhǔn)的微操作針臂，能安裝各種類型的探針，滿足絕大部分科研需求，實(shí)現(xiàn)直流、射頻、微波以及光學(xué)測(cè)量。
靈活容易擴(kuò)展的探針集合
微操作針臂可以在全溫區(qū)、真空環(huán)境、磁場(chǎng)環(huán)境下使用
可以配置在德世任意款探針臺(tái)上
磁場(chǎng)探針臺(tái)中更換成無(wú)磁材料針臂
針臂上安裝一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)溫度傳感器，可以接受定制傳感器類型
探針配置及用途
通用DC | 小信號(hào)低噪聲DC測(cè)量 |
高阻DC | 高阻抗低漏電流測(cè)量 |
RF-1GHz | KHz和MHz級(jí)別的測(cè)量，測(cè)量帶寬高達(dá)1GHz?？梢陨?jí)到RF/微波-40GHz測(cè)量，需要購(gòu)買一個(gè)GSG探針 |
RF/微波-40GHz | 可實(shí)現(xiàn)高達(dá)40GHz的測(cè)量，同時(shí)也能實(shí)現(xiàn)兼容DC測(cè)量 |
RF/微波-67GHz | 可實(shí)現(xiàn)高達(dá)67GHz的測(cè)量，同時(shí)也能實(shí)現(xiàn)兼容DC測(cè)量 |
光纖探針 | 給樣品通光或者從樣品采集光，可選波長(zhǎng)，可選FC/APC或者SMA905接口 |
探針硬件配置
| 接口 | 探針 | 內(nèi)部線 | 水平角度 | 定制 |
通用DC | 3耳BNC | SMA低溫探針 | 微型低溫同軸線，屏蔽層接地 | ±5° | 探針針尖和直徑 |
高阻DC | 3耳triaxial | SMA低溫探針 | 微型低溫同軸線，屏蔽層接三同軸GUARD | ±5° | 探針針尖和直徑 |
RF-1GHz | 2.92mm(K型連接器) | SMA低溫探針 | 2.92mm半剛性低溫同軸線，屏蔽層接地 | ±5° | 探針針尖和直徑 |
RF/微波-40GHz | 2.92mm(K型連接器) | 40G-GSG探針 | 2.92mm半剛性低溫同軸線，屏蔽層接地 | ±5° | GSG針尖距離 |
RF/微波-67GHz | 1.85mm(Z型連接器) | 67G-GSG探針 | 1.85mm半剛性低溫同軸線，屏蔽層接地 | ±5° | GSG針尖距離 |
光纖探針 | FC/APC或SMA905 | 無(wú) | 光纖 | ±5° | 類型、波長(zhǎng)、入射角 |
探針性能
| 使用頻率 | 絕緣電阻 | 電容 | 阻抗 | 反射 | 傳輸 |
通用DC | DC-50Hz | >100MΩ | <100pF | 50Ω | 無(wú) | 無(wú) |
高阻DC | DC-50Hz | >100GΩ | <100pF | 無(wú) | 無(wú) | 無(wú) |
RF-1GHz | DC-1GHz | >10MΩ | 未測(cè)量 | 50Ω | <-20dB | <±1dB |
RF/微波-40GHz | DC-40GHz | >1MΩ | 未測(cè)量 | 50Ω | <-20dB | <±1dB |
RF/微波-67GHz | DC-67GHz | >1MΩ | 未測(cè)量 | 50Ω | <-20dB | <±1dB |
光纖探針 |
| 無(wú) | 無(wú) | 無(wú) | 無(wú) | 無(wú) |
注：絕緣電阻在100V電壓下測(cè)量得到 |
探針定位
| X軸 | Y周 | Z軸 |
行程 | 75mm(2in) | 25mm(1in) | 25mm(1in) |
精度 | 3μm | 5μm | 5μm |
SMA低溫專用探針
德世為低溫探針臺(tái)設(shè)計(jì)專用探針，探針具有強(qiáng)大的通用性，能實(shí)現(xiàn)直流偏置、低/高頻測(cè)量、低噪聲屏蔽和低漏電流測(cè)量。SMA低溫探針主體由陶瓷或者FR4制作，低溫焊料焊接SMA接口，50歐姆阻抗傳輸線，可配置鎢、P7或者鈹銅探針，無(wú)氧銅熱沉帶，熱沉到樣品臺(tái)
型號(hào) | 材料 | 針尖直徑（µm） |
SMA-05D-01-W | 鎢 | 1 |
SMA-05D-05-W | 5 |
SMA-05D-10-W | 10 |
SMA-05D-20-W | 20 |
SMA-05D-100-W | 100 |
SMA-05D-01-BC | 鈹銅 | 1 |
SMA-05D-05-BC | 5 |
SMA-05D-10-BC | 10 |
SMA-05D-20-BC | 20 |
SMA-05D-100-BC | 100 |
SMA-05D-01-P7 | Paliney7合金 | 1 |
SMA-05D-05-P7 | 5 |
SMA-05D-10-P7 | 10 |
SMA-05D-20-P7 | 20 |
SMA-05D-100-P7 | 100 |
針尖材料 | 描述 | 應(yīng)用 | 導(dǎo)電性 | 接觸電阻 | 壽命 |
鎢(W) | 常用，耐用 | 適用各種樣品表面，能穿透氧化層 | 好 | 小 | 長(zhǎng) |
鈹銅(BC) | 常用，接觸電阻小 | 沉金焊盤pad | 優(yōu) | 蕞小 | 長(zhǎng) |
paliney7合金(P7) | 專用，接觸電阻小 | 精密的焊盤pad | 好 | 小 | 長(zhǎng) |
