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RTS-1389型全自動(dòng)四探針測試系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 廣州四探針科技有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 所在地 廣州市
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時(shí)間 2024/12/30 14:10:22
  • 訪問次數(shù) 33

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RTS-1389型全自動(dòng)四探針測試系統(tǒng)可對樣品進(jìn)行49點(diǎn)、81點(diǎn)、中心1點(diǎn)、中心10點(diǎn)、中心半徑5點(diǎn)、中心邊緣5點(diǎn)、中心半徑邊緣9點(diǎn)、直徑掃描等測試

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RTS-1389型全自動(dòng)四探針測試系統(tǒng)

可對樣品進(jìn)行49點(diǎn)、81點(diǎn)、中心1點(diǎn)、中心10點(diǎn)、中心半徑5點(diǎn)、中心邊緣5點(diǎn)、中心半徑邊緣9點(diǎn)、直徑掃描等測試;統(tǒng)計(jì)分析測試數(shù)據(jù)生成2D和3D的map圖;
屏蔽測試,消除光對樣品測試的影響,保證測量的準(zhǔn)確性;
真空吸附防止全自動(dòng)測試過程中樣品移動(dòng)對測試的影響;
一體化嵌入式設(shè)計(jì),觸控電腦屏幕操作,手指點(diǎn)點(diǎn)就可以完成操作;
RTS-1389型全自動(dòng)四探針測試系統(tǒng)是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合全自動(dòng)測量設(shè)備。該設(shè)備按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用設(shè)備。通過全自動(dòng)測試系統(tǒng),對晶圓片進(jìn)行電阻率和方塊電阻分布的測量,繪制出等值線圖后,從而直接觀察到整個(gè)晶圓片的電阻率或方塊電阻大小的分布。
RTS-1389型全自動(dòng)四探針測試系統(tǒng)通過采用四探針雙位組合測量技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上。利用電流探針和電壓探針的組合變換,進(jìn)行兩次電測量,其最后計(jì)算結(jié)果能自動(dòng)消除由樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素所引起的,對測量結(jié)果的不利影響。因而在測試過程中,在滿足基本條件下可以不考慮探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置等因素。這種動(dòng)態(tài)地對以上不利因素的自動(dòng)修正,顯著降低了其對測試結(jié)果的影響,從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。
RTS-1389型全自動(dòng)四探針軟件測試系統(tǒng)擁有友好操作測試界面,通過此測試程序輔助用戶簡便地進(jìn)行各項(xiàng)測試操作,把采集到的測試數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)分析,然后把測試數(shù)據(jù)以Excel表格,2D、3D等數(shù)值圖直觀地記錄、顯示出來。方便用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析,用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,
技 術(shù) 指 標(biāo)
測量范圍
電阻率:10-5~105 Ω.cm;
方塊電阻:10-4~106 Ω/□;
可測晶片尺寸
2英寸~12英寸;(太陽能電池片≤210mm*210mm)
恒流源
電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔
采樣電壓范圍
量程:000.00~199.99mV;(低阻擴(kuò)展時(shí),量程:00.000~19.999mV)    
分辨力:10μV;(低阻擴(kuò)展時(shí),分辨力:1μV)
輸入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1%;
四探針探頭基本指標(biāo)
間距:1±0.01mm;
針間絕緣電阻:≥1000MΩ;
機(jī)械游移率:≤0.3%;
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:5~16 牛頓(總力);
模擬電阻測量相對誤差
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.2%
整機(jī)測量相對誤差
(用硅標(biāo)樣片:0.003-500Ω.cm 測試)≤±3% (23℃)
重復(fù)性
≤±0.5%
最小去邊距離
3mm
自動(dòng)測試選點(diǎn)方式
49點(diǎn)、81點(diǎn)、中心1點(diǎn)、中心10點(diǎn)、中心半徑5點(diǎn)、中心邊緣5點(diǎn)、中心半徑邊緣9點(diǎn)、直徑掃描。
測試數(shù)據(jù)處理
以Excel格式文件表格記錄測試數(shù)據(jù),并生成2D、3D的 map圖。用戶可對采集的數(shù)據(jù)在Excel中進(jìn)行進(jìn)一步的各種數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析。
屏蔽和吸附測試
對樣品進(jìn)行屏蔽和真空吸附測試,消除光和全自動(dòng)測試過程中樣品移動(dòng)對樣品測試的影響,保證測量的準(zhǔn)確性。
外形尺寸
580mm×475mm×450mm(深×寬×高)
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境
溫度:23±2℃;
相對濕度:≤65%;
無高頻干擾;
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