W16型微熱板氣體傳感模組W16型微熱板氣體傳感模組是一套基于MEMS微熱板16元件陣列的模塊化設(shè)備

W16型微熱板氣體傳感模組

W16型微熱板氣體傳感模組是一套基于MEMS微熱板16元件陣列的模塊化設(shè)備。其由三部分組成：16元件微熱板器件及基板、調(diào)理電路板、供電通訊模塊。16元件微熱板器件采用MEMS工藝，通過光刻濺射的方式在陶瓷基板上沉積加熱器、測溫電阻、插齒，16個通道可單獨加熱、控溫。調(diào)理電路板可以高速測量16路電阻信號，電阻測量范圍100Ω-1GΩ，誤差小于5%。供電通訊模塊可以通過USB或者WIFI等方式連接PC機，進(jìn)行數(shù)據(jù)獲取、存儲與處理。

W16型微熱板傳感模組實物圖

16元件陣列器件實物圖

性能參數(shù)

模組軟件界面

高速變溫效果（0.2秒變溫）