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采用的全鋁技術(shù),的剛性/質(zhì)量比,保證機(jī)器的高性能和高精度。
X向橫梁采用超高精密三角梁(Tricision®)技術(shù),相比矩形橫梁,重心更低,質(zhì)量剛性比更佳,運(yùn)動(dòng)更加可靠,該技術(shù)受到保護(hù)。
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主要特征:
• 采用的全鋁技術(shù),的剛性/質(zhì)量比,保證機(jī)器的高性能和高精度。
• X向橫梁采用超高精密三角梁(Tricision®)技術(shù),相比矩形橫梁,重心更低,質(zhì)量剛性比更佳,運(yùn)動(dòng)更加可靠,該技術(shù)受到保護(hù)。
• Y軸采用獲得的燕尾型導(dǎo)軌,提高了測(cè)量機(jī)的精度和重復(fù)性。
• Z向采取獲得了的氣動(dòng)平衡技術(shù),采用柔性懸掛系統(tǒng),避免了軸向運(yùn)動(dòng)和傳動(dòng)之間的干涉問(wèn)題,提高了測(cè)量機(jī)的精度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
• 三軸均采用高精度德國(guó)HEIDENHAIN光柵尺,系統(tǒng)分辨率可達(dá)0.078μm,同時(shí)采用一端固定,一端自由伸縮的方式安裝,減少了光柵尺的變形,保證在溫度變化時(shí)的線性伸縮。
• 各運(yùn)動(dòng)軸均采用直流伺服驅(qū)動(dòng)+增強(qiáng)型同步帶,確保大行程測(cè)量機(jī)運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)性和定位的準(zhǔn)確性。
• 采用??怂箍禐镃roma專業(yè)打造的IDC-I控制系統(tǒng),21項(xiàng)誤差空間修正技術(shù)和自動(dòng)調(diào)諧功能,保證了機(jī)器的動(dòng)態(tài)性能和測(cè)量精度。
• 軟件為業(yè)界的PC-DMIS BASIC (PC-DMIS PREMIUM),功能強(qiáng)大,易學(xué)高效。

規(guī)格型號(hào)與技術(shù)指標(biāo):

機(jī)器型號(hào)101281015810218
行程(mm)X100010001000
Y120015002100
Z800800800
外形尺寸(mm)Lx160016001600
Ly217724773077
Lz283728372837
測(cè)量空間(mm)Dx113011301130
Dz118118118
Dz1940940940
平臺(tái)(mm)Ph580590590
Py191022102810
支撐(mm)Sy100012001450
Sy1455505680
承重(Kg)130015001800
機(jī)臺(tái)重量(Kg)178520902625
MPEp(μm)3.5
MPEe(μm)3.2+L/300
光柵尺分辨率0.078μm
空間移動(dòng)速度520mm/s
空間移動(dòng)加速度1470 mm/s2
流量/供氣壓力2.5dm3/s (180NL/min)  >0.7MPa
溫度20±2℃
濕度45%-75%

 



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