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EM-20臺式掃描電鏡

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EM-20標(biāo)配SE探測器,觀察微觀區(qū)域精細(xì)表面形貌,同時可選配BSE和EDS,表征微區(qū)成分信息,可擴(kuò)展低真空觀察模式,非導(dǎo)電樣品直接用Bse探測器觀察,免制備導(dǎo)電膜層。
EM-20使用當(dāng)前的電子光學(xué)設(shè)計(jì),自動控制技術(shù),二次電子分辨率達(dá)到7nm @20KV,是目前臺式掃描電鏡的zui高水平。
標(biāo)準(zhǔn)配置兩軸馬達(dá)驅(qū)動樣品臺,高速渦輪分子泵真空系統(tǒng),電子光學(xué)系統(tǒng)調(diào)節(jié),全部由酷塞目[COX

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產(chǎn)品簡介
    EM-20標(biāo)配SE探測器,觀察微觀區(qū)域精細(xì)表面形貌,同時可選配BSE和EDS,表征微區(qū)成分信息,可擴(kuò)展低真空觀察模式,非導(dǎo)電樣品直接用Bse探測器觀察,免制備導(dǎo)電膜層。
    EM-20使用當(dāng)前的電子光學(xué)設(shè)計(jì),自動控制技術(shù),二次電子分辨率達(dá)到7nm @20KV,是目前臺式掃描電鏡的zui高水平。
    標(biāo)準(zhǔn)配置兩軸馬達(dá)驅(qū)動樣品臺,高速渦輪分子泵真空系統(tǒng),電子光學(xué)系統(tǒng)調(diào)節(jié),全部由酷塞目[COXEM]NanoStation計(jì)算機(jī)導(dǎo)航自動操作。除了自動功能以外,EM-20掃描電鏡還提供給更加專業(yè)的用戶所有手動調(diào)節(jié)功能,使得EM-20幾乎具備大型機(jī)所有的調(diào)節(jié)功能,從而獲得更加專業(yè)的圖像品質(zhì)。有別于其他“傻瓜”型臺式掃描電鏡,EM-20是一臺“單反”型產(chǎn)品。    

技術(shù)特點(diǎn):

      *自動高亮度電子槍,全數(shù)字化高壓電源,0.5KV~20KV范圍內(nèi)隨意調(diào)節(jié);
      *聚光鏡精細(xì)控制 Spot size設(shè)置10檔調(diào)節(jié);
      *圓錐形物鏡,具有更高分辨性能;
      *四孔可變光闌,分別用于高分辨觀察和不同的分析目的。
      *實(shí)時灰度直方圖,自動亮度對比度;
      *X Y 兩軸自動樣品臺  
      *可選Bse探測器、低真空功能和能譜儀。
      *酷塞目NanoStation操作軟件,內(nèi)含豐富的圖像編輯處理功能

技術(shù)指標(biāo):
分辨率:7nm@20kv SEI 
電子槍:發(fā)叉式鎢絲陰極, 預(yù)對中燈絲
放大倍數(shù):X20 to X80,000
加速電壓:0.5kV to 20kV 
探測器:SE Detector,EDS/BSE(可選) 
真空系統(tǒng):全自動渦輪分子泵系統(tǒng) 達(dá)高真空時間小于3分鐘  
樣品臺:X axis:35mm(馬達(dá)驅(qū)動) 
            Y axis:35mm(馬達(dá)驅(qū)動) 
            Z axis:5 to 60mm 
            R axis:360度 
樣品尺寸:45mm(H),70mm(Diameter) 
視頻采集分辨率(Pixel):選區(qū)(320x240),TV(640x480),Slow(800x600), 
                                  Photo(1280x960,2560x1920,5120x3840) 
幀頻:選區(qū) (Max.30 frames/sec),
         TV   (Max.10 frames/sec) 
         Slow (Max.2 frames/sec) 
自動功能:Start,F(xiàn)ocus,F(xiàn)ilament,Brightness/Contrast 
計(jì)算機(jī)操作系統(tǒng):Windows 7 
操作方式:鍵盤/鼠標(biāo),全觸摸屏操作(可選) 
外形尺寸:400(W)x 600(L)x 550(H)mm 
重量:80kg 


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