SamcoInternational是始于1979年的等離子蝕刻與沉積系統(tǒng)制造商；日本的客制Plasma和Deposition設(shè)備供應(yīng)商；日本京都、美國硅谷、英國劍橋、中國上海、中國臺灣和東南亞都有我們的設(shè)備和服務(wù)支持

Samco International是始于1979年的等離子蝕刻與沉積系統(tǒng)制造商；日本的客制Plasma和Deposition設(shè)備供應(yīng)商；日本京都、美國硅谷、英國劍橋、中國上海、中國臺灣和東南亞都有我們的設(shè)備和服務(wù)支持。Samco International為混合半導(dǎo)體、MEMS(微機電系統(tǒng))、光電、失效分析以及其他市場制造各種各樣的系統(tǒng)。我們的產(chǎn)品在業(yè)內(nèi)以系統(tǒng)占地面積最小、性價比著稱，且生產(chǎn)可靠性久經(jīng)考驗。從整套生產(chǎn)需要工具、到簡單的實驗室系統(tǒng)，Samco International均有提供。

反應(yīng)性離子蝕刻，簡稱為RIE，各種反應(yīng)器廣泛使用的方法，便是結(jié)合(1)物理性的離子轟擊與(2)化學(xué)反應(yīng)的蝕刻。此鐘方式兼具非等向性與高蝕刻選擇比等雙重優(yōu)點，蝕刻的進行主要靠化學(xué)反應(yīng)來達成，以獲得高選擇比。加入離子轟擊的作用有二：一是將被蝕刻材質(zhì)表面的原子鍵結(jié)破壞，以加速反應(yīng)速率。二是將再沉積于被蝕刻表面的產(chǎn)物或聚合物(polymer)打掉，以使被蝕刻表面能再與蝕刻氣體接觸。

RIE-10NR反應(yīng)離子蝕刻設(shè)備特點：