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SPR2000系列粗糙度輪廓儀產(chǎn)品特點性能和成本的平衡，具有性價比
性能和成本的平衡，具有性價比。
高精度數(shù)字式輪廓傳感器
無導頭寬范圍粗糙度傳感器
大量程輪廓測量，微觀輪廓度測量
寬范圍粗糙度測量
高精度大量程粗糙度、高精度大量程輪廓測量的復合機型
測量功能
輪廓測量功能
各種類型工件表面的線要素，點要素、點與點的距離、線與線的距離、各要素的位置度包括距離、平行度、垂直度、角度、槽深、槽寬、半徑，可進行直線度分析、凸度分析、輪廓度分析。
粗糙度測量功能
粗糙度功能：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波紋度參數(shù)：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
原始輪廓參數(shù)：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
基礎參數(shù)
| 規(guī)格號 | 參數(shù) |
| 測量范圍 | X軸 0-220mm可選 |
| Z軸 0-620mm可選 | |
| Z1軸 C:±7.5mm/R:±600μm | |
| 輪廓傳感器線性精度 | ≤0.07%f.s. |
| 粗糙度傳感器線性精度 | ≤±(10nm + 3.5%) |
| 規(guī)格號 | SPR2000 | |
| 測量范圍 | X軸 | 100~220mm |
| Z軸 | 320~620mm | |
| Z1軸 | C:0~±30mm / R：±620μm | |
| 輪廓精度 | Z1線性精度1 | ±（0.8+|0.12H|）μm |
| 圓弧2 | ±（1.5+R/12）μm | |
| ?度3 | ±1′ | |
| 直線度4 | 0.5μm/100mm | |
| 粗糙度精度 | 線性精度 | ≤±(5nm + 2.8%) |
| 殘值噪聲 | ≤0.005μm | |
| 重復性6 | 1δ≤1nm | |
| 截?波? | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | |
| 評定?度 | λcX2、3、4、5、6、7 | |
| 驅(qū)動速度 | X軸 | 0.05~15mm/s |
| Z軸 | 0.2~15mm/s | |
| 測量功能 | 輪廓 | 各種類型?件表?的線要素，點要素、點與點的距離、線與線的距離、各要素的位置度包括距離、平?度、垂直度、?度、槽深、槽寬、半徑，可進?直線度分析、凸度分析、輪廓度分析。 |
| 測量功能 | 粗糙度 | 粗糙度功能：Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、 波紋度參數(shù)：Mr2、RmrWa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr原始輪廓參數(shù)：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr |
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