認(rèn)識Sensofar

西班牙SENSOFAR公司專業(yè)從事研發(fā)、設(shè)計(jì)和制造光學(xué)表面量測設(shè)備。從1999年成立至今裝機(jī)超過900臺。SENSOFAR開創(chuàng)性地將共聚焦和干涉技術(shù)結(jié)合在一起，設(shè)計(jì)和制造了NEOX系列的3D光學(xué)輪廓儀，它是獲得歐洲設(shè)計(jì)金獎(jiǎng)的產(chǎn)品。

  其中款的SNEOX具有以下幾點(diǎn)突出優(yōu)勢：

一、           無二的設(shè)計(jì)，將共聚焦和干涉技術(shù)結(jié)合

SNEOX無需插拔任何硬件就可以在軟件內(nèi)自動(dòng)實(shí)現(xiàn)共聚焦、白光干涉和Ai多焦面疊加三種功能的切換。使客戶無需花費(fèi)高昂的費(fèi)用就能同時(shí)擁有共聚焦顯微鏡和干涉儀?？蛻艏磽碛泄簿劢辜夹g(shù)的超高XY軸分辨率0.14um,又有干涉技術(shù)的亞納米級Z軸分辨率可達(dá)0.1nm及高達(dá)0.1%的測量重復(fù)性。

二、           采用四色LED做照明光源，系統(tǒng)無耗材

SNEOX采用紅、綠、藍(lán)、白四色LED做照明光源。超長使用壽命和穩(wěn)定波段的LED保證了設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行，也降低了用戶的使用成本。

傳統(tǒng)共聚焦激光光源只有3000小時(shí)壽命，更換光源需要返廠校準(zhǔn)。

三、           的Microdisplay 技術(shù)做到了掃描頭內(nèi)無運(yùn)動(dòng)部件

SENSOFAR設(shè)計(jì)的Microdisplay技術(shù)解決了共聚焦掃描一直以來的問題即有部件要高速運(yùn)動(dòng)。實(shí)現(xiàn)了既能高速掃描又能避免部件運(yùn)動(dòng)造成震動(dòng)影響精度。

傳統(tǒng)共聚焦掃描頭有一組晶振在振動(dòng)，需要定期校準(zhǔn)。

四、           采用3CCD模式，拍攝真實(shí)清晰地圖片

SNEOX使用2442x2048的CCD，使用3CCD模式拍攝彩色圖片即每張彩色圖片都是用紅、綠、藍(lán)三色光源分別照明后獲取圖像，保證每個(gè)像素點(diǎn)都能用RGB三原色去還原圖像，紅綠藍(lán)三色LED交替照明的方式能幫助獲得最真實(shí)和高對比度的圖像。較短的光波長可以在測量時(shí)獲得水平分辨率，較長的光有更好的光學(xué)相干性，適合干涉掃描的使用。

五、           智能編程，自動(dòng)走位測量

軟件的標(biāo)配智能編程功能，用戶可以很簡單的實(shí)現(xiàn)定位精確測量或大批重復(fù)測量。軟件還可設(shè)置使用權(quán)限。

六、           新增AI FOCUS VIRATION功能實(shí)現(xiàn)超快速三維重建

針對部分用戶需要高速測量，且測量精度只需要亞微米級的需求，SNEOX加入了FOCUS VIRATION功能，Z軸測量精度小于70nm，只需不到3秒就能完成視場內(nèi)的三維形貌掃描。

七、           自動(dòng)形貌拼接、圖像預(yù)覽導(dǎo)航等豐富功能幫助客戶一臺設(shè)備完成多種應(yīng)用需求。

八、           膜厚測量，薄膜測量滿足50nm-1.5u測量需求，厚膜測量滿足1.5-5mm測量需求（單層膜）。多層膜測量需選配光譜反射計(jì)。

九、           定制軟件

SensoPro作為一款定制軟件，針對工廠設(shè)計(jì)，既可以避免人為測量誤差，又可以批量高速測量。

使用SensoPro軟件可以在預(yù)先設(shè)置好要測量和輸出的數(shù)據(jù)的前提下，可以在掃描好樣品表面形貌的同時(shí)，測量出全部待測樣品的數(shù)據(jù)。不但可以排除人為測量誤差，還具備人為測量不具備的高效率。

二、設(shè)備主要用途

Sensofar 表面輪廓儀S Neox可以通過白光干涉、相位差干涉、共聚焦、多焦面疊加四種技術(shù)對表面進(jìn)行3D合成，適用于幾乎所有粗糙度表面樣品的三維量測。

廣泛應(yīng)用于能源、LCD、微電子、精密加工、光學(xué)器件、半導(dǎo)體元件、鐘表、考古、汽車、電子消費(fèi)品等領(lǐng)域。

三、技術(shù)指標(biāo)

設(shè)備名稱：表面3D輪廓儀

規(guī)格型號:S Neox

一、硬件部分

1.1 光源及壽命

長壽命高亮度4色LED（紅 630nm，綠 560nm,藍(lán) 460nm，白550nm)   50000小時(shí)以上

1.2 相機(jī)及成像

5Mpx：2442x2048 60fps高速相機(jī)；用紅綠藍(lán)三色順序照明獲得真彩照片，圖像色彩及還原性更好

1.3   XY分辨率

0.14µm

1.4 顯微鏡共焦裝置

MicroDisplay設(shè)計(jì)，測量頭內(nèi)無運(yùn)動(dòng)部件

1.5 掃描模式

干涉物鏡：白光干涉（CSI）、相位差干涉（PSI）擴(kuò)展相位差干涉（ePSI）、膜厚測量模式

共聚焦物鏡：共聚焦、連續(xù)共聚焦、共聚焦融合、AI多焦面疊加、膜厚測量模式

膜厚測量模式：可以測量大于50nm透明膜厚度

1.6   物鏡轉(zhuǎn)換器及物鏡

1.6.1 電動(dòng)六孔物鏡轉(zhuǎn)換器

1.6.2 物鏡參數(shù)

1.7 視野范圍

110-3380µm

1.8 樣品側(cè)面觀察能力

86度

1.9 電動(dòng)載物臺

可傾斜，行程不小于114X75mm，

1.10 內(nèi)置專業(yè)避震裝置

有

1.11 支持樣品高度

40mm（可擴(kuò)展）

1.12 放大倍數(shù)

100-20000

1.13 Z軸精度及線性度

   可選壓電陶瓷高精度Z軸掃描模塊，行程200µm

1.14防震機(jī)制

  大臺面高級防震桌

二、軟件部分

2.1粗糙度測量部分

2.1.1 同時(shí)具備線粗糙度和面粗糙度測量的能力

2.1.2 粗糙度標(biāo)準(zhǔn)

ISO25178 國際標(biāo)準(zhǔn)

2.2 觀察輔助

明場，暗場，彩色共聚焦、共聚焦狹縫

2.3 拼圖功能

有，拼接范圍為電動(dòng)平臺移動(dòng)行程

2.4 具備免費(fèi)離線軟件與共享功能

2.5 自動(dòng)操作記憶功能

可存儲測量參數(shù)，自動(dòng)編程實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)測量。如選配批量分析軟件，可自動(dòng)分析結(jié)果給出報(bào)告

2.6 工作站

新型工作站配置WINDOWS10   64位專業(yè)版操作系統(tǒng)，27” 3840 x 2160分辨顯示器

2.7 操作軟件支持的語言

中文、英文

2.8   窗口設(shè)計(jì)

按鍵式，可保存及調(diào)用參數(shù)

2.9 支持的掃描模式

白光干涉、相位差干涉、共聚焦、主動(dòng)照明式多焦面疊加、膜厚模式等

三、測量性能與追溯性

3.1   XY分辨力

分辨能力不低于0.14微米

3.2 測量顯示分辨率

0.001nm

3.3   Z軸測量分辨率

共聚焦1nm   CSI模式下1nm PSI 模式下可達(dá)0.01nm

3.4   Z軸測量準(zhǔn)確度

臺階高度精度0.5%

3.5   Z軸測量重復(fù)性

臺階高度重復(fù)性0.1%