圖4
型 號(hào) | HSR-C3300 | HSR-C3300D |
圖像傳感器 | 500 萬(wàn)像素 CMOS |
顯示器 | 機(jī)身顯示器 | 10.4 英寸 LCD 顯示器（XGA：1024×768） |
外接顯示器 | 24 英寸 LCD 顯示器（XGA：1920×1080） |
受光鏡頭 | 雙遠(yuǎn)心鏡頭 |
照明系統(tǒng) | 落射系統(tǒng) | 四分割照明（白光）、環(huán)狀指向性照明（綠色） |
透射系統(tǒng) | 遠(yuǎn)心透過(guò)照明（綠色） |
測(cè)量視野 | 廣視野(㎜) | 300×200（4 角 R50） | 300×200（4 角 R50） |
高精度(㎜) | / | 230*130 |
圖像測(cè)量 重復(fù)精度 | 廣視野 | 載物臺(tái)未移動(dòng) | ±1μm | ±1μm |
載物臺(tái)移動(dòng) | ±2μm | ±2μm |
高精度 | 載物臺(tái)未移動(dòng) | / | ±0.5μm |
載物臺(tái)移動(dòng) | / | ±1.5μm |
圖像測(cè)量 測(cè)量精度 | 無(wú)拼接*1 | 廣視野 | ±5μm | ±5μm |
高精度 | / | ±2μm |
有拼接*2 | 廣視野 | ±(7+0.02L)μm | ±(7+0.02L)μm |
高精度 | / | ±(4+0.02L)μm |
測(cè)量軟件 | VisionX |
顯示分辨率 | 0.1μm |
高度測(cè)量*3 | 可測(cè)量范圍（XY) | 120 ㎜×110 ㎜ |
孔深比（h/φ） | 1.5 |
Z軸不移動(dòng) | 高度 | ±3.7 ㎜ |
精度 | ±2μm |
Z軸移動(dòng) | 高度 | 70 ㎜ |
精度 | ±(6+L/100)μm |
測(cè)頭光點(diǎn)直徑 | Φ38μm |
分辨率 | 0.25μm |
支持觸發(fā)測(cè)頭 | 支持 |
XY 電動(dòng)載物臺(tái) | X 移動(dòng)范圍 | 210 ㎜ |
Y 移動(dòng)范圍 | 110 ㎜ |
承重 | 5kg |
Z 向電動(dòng)載物臺(tái) | 移動(dòng)范圍 | 75 ㎜ |
外形尺寸(L×W×H) ㎜ | 500×503×731 ㎜ | 500×503×731 ㎜ |
重量 | 74kg | 75kg |
工作電源 | 100-240V/AC,50/60Hz,2A 功率 300W |
工作環(huán)境 | 溫度 10℃~35℃，濕度 20~80%（無(wú)凝結(jié)） |
*1在調(diào)焦位置，使用環(huán)境溫度為 20°C±1°C 時(shí)。
*2在調(diào)焦位置，使用環(huán)境溫度為 20°C±1°C 時(shí)、載物臺(tái)上搭載重量為 2kg 以下、L 為載物臺(tái)移動(dòng)量（㎜）。
*3需選配光學(xué)高度測(cè)量傳感測(cè)頭。
