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真空等離子清洗機SPV-240

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一、簡介1.1概要真空等離子清洗機(Plasmacleaner),氣體通過激勵電源離化成等離子態(tài),等離子體作用于產(chǎn)品表面,清洗產(chǎn)品表面污染物,提高表面活性,增強附著性能

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一、簡介

1.1 概要

真空等離子清洗機(Plasma cleaner),氣體通過激勵電源離化成等離子態(tài),等離子體作用于產(chǎn)品表面,清洗產(chǎn)品表面污染物,提高表面活性,增強附著性能。等離子清洗是一種新型的、環(huán)保、高效、穩(wěn)定的表面處理方式。

 

1.2 產(chǎn)品特點

產(chǎn)品放置治具靈活多變,可適應(yīng)不規(guī)則的產(chǎn)品

水平電極設(shè)計,可滿足軟性產(chǎn)品處理需求。

低耗能、耗氣產(chǎn)品。

便捷的收放板方式

真空系統(tǒng)集成,占地面積小

合理的等離子反應(yīng)空間,使處理更均勻

集成的控制系統(tǒng)設(shè)計,使操作更方便

 

1.3行業(yè)應(yīng)用

手機行業(yè):TP、中框、后蓋表面清洗活化

PCB/FPC行業(yè):孔內(nèi)鉆污及表面清潔、Coverlay表面粗化及清潔

半導(dǎo)體行業(yè):半導(dǎo)體封裝、攝像頭模組、LED封裝、BGA封裝、Wire Bond前處理

陶瓷:封裝、點膠前處理

表面粗化蝕刻:PI表面粗化、PPS蝕刻、半導(dǎo)體硅片PN結(jié)去除、ITO膜蝕刻

塑膠材料:Teflon特氟龍表面活化、ABS表面活化、以及其他塑料材質(zhì)清洗活化

ITO涂覆前表面清洗

 

二、技術(shù)規(guī)格

2.1設(shè)備規(guī)格

 

電源系統(tǒng)


射頻電源

中頻電源

功率

0~1000W

0~2000W

頻率

13.56MHz

40KHz

真空系統(tǒng)

 

泵組

羅茨泵+單級旋片泵

真空管路

全不銹鋼管路,以及高強度真空波紋管

材質(zhì)

鋁合金(可定制不銹鋼腔體)

厚度

25mm

密封性

級焊接密封

腔體內(nèi)部尺寸

590(W)*600(D)*660(H)mm

電極板有效尺寸

575×510mm(寬×深)

可用空間間距

34mm

電極板布置方式

水平布置,可活動抽取

工作托盤

標(biāo)配一套,材質(zhì)可選配(鋁材、鋼絲網(wǎng))

工作空間

8層

氣體系統(tǒng)

流量范圍

0~300SCCM

工藝氣體氣路

標(biāo)配兩路,可定制(氬氣、氧氣、氮氣、氫氣、四氟化碳)

控制系統(tǒng)

系統(tǒng)控制

PLC

交付方式

7寸觸控屏幕

其它參數(shù)

外形尺寸

1050×1750×1050mm(寬×高×深)

重量

350KG

設(shè)備外觀顏色

銀灰色

 

2.2廠務(wù)規(guī)格要求

廠務(wù)規(guī)格要求

交流電源規(guī)格

電源:AC380V,50/60Hz,5線,30A

廠務(wù)排氣

流量:2.0 m3/min

廠務(wù)工作氣體要求

流量:1~10 L/min

壓力:3~7 kg/cm2

管徑:6×4 mm

材質(zhì):PU管

純度:99.99%以上

廠務(wù)壓縮空氣要求

流量:1~10 L/min

壓力:3~7 kg/cm2

管徑:8×5 mm

材質(zhì):PU管

露點:-40℃以下

Particle>0.3μm:10Pcs/ft3

 

 

2.3 一般規(guī)格

一般規(guī)格

危險標(biāo)識

高壓危險標(biāo)識

使用環(huán)境

溫度:15~30℃

濕度:30~70%

其他注意事項

不可有可燃性氣體,腐蝕性氣體,爆炸或反應(yīng)性粉塵

氣瓶需固定

 


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