原子力顯微鏡 XN-10具備高速的伺服響應(yīng)能力，超高的掃描器線性度，極低的閉環(huán)檢測器噪聲水平，和zui小的系統(tǒng)熱漂移量。作為一款界面友好，操作簡單的儀器，NX-10會成為新老用戶的好伙伴。

原子力顯微鏡 XN-10技術(shù)參數(shù)：
XY掃描器
柔性制導(dǎo)閉環(huán)控制單模塊掃描器
掃描范圍50μm×50μm（可選100μm×100μm）
分辨率：0.05nm
定位檢測噪音：<0.3nm（帶寬：1kHz）
平面偏移度:<1nm（超過40μm掃描）
原子力顯微鏡 XN-10主要特點：

一、計量精確
XE系列AFM*消除了球面誤差，因而具備了實現(xiàn)精確納米計量的能力。

二、掃描器線形度高，直角正交
XE系列AFM采用了柔性掃描器zui大限度減小了X和Y掃描運動的交叉耦合，并且通過位移傳感器及時進行反饋控制，這就有效保證了掃描的準確度和精度。

三、非接觸式掃描
可真正實現(xiàn)非接觸式掃描是Park AFMzui顯著的技術(shù)優(yōu)勢。采用這一模式掃描時，針尖和樣品間距可以保持在幾個納米，在避免針尖磨損的同時提高了成像質(zhì)量。

四、CrN樣品測試結(jié)果
CrN樣品具有點狀尖銳的特點，是常用的AFM探針性能測試樣品。如采用輕敲模式進行掃描，10次后圖像質(zhì)量就因針尖磨損而明顯下降。在非接觸掃描實驗中，掃描100次后圖像細節(jié)依然清晰，證明針尖沒有受到損傷。