簡介制程片PL檢測模組可應用于制絨、擴散、刻蝕、PECVD工藝后，對過程片進行缺陷檢測
簡介
制程片PL檢測模組可應用于制絨、擴散、刻蝕、PECVD工藝后，對過程片進行缺陷檢測。
可安裝于刻蝕上料、PECVD下料、絲網上料處以及離線設備，結合客戶端現有設備實現剔除。
采用了特殊定制相機和神經網絡算法相結合，可快速、準確地檢測出缺陷，檢測速率大大提升。
采用非接觸式的檢測方式，大大降低了在生產電池片各個工藝過程中的碎片率，是分析工藝問題、提高成品率、降低成本的視覺檢測設備。為產品質量提供了可靠的保障。
過程片
產品特性
產能大于4500片/小時
兼容多尺寸片源，更換尺寸無需更換硬件，降低人力及耗材成本
無接觸式檢測，不會對過程片造成二次損傷
提前篩選出問題片，節(jié)約制造成本
自動統(tǒng)計各類缺陷、良品數量及比例
適用于制絨、蝕刻、擴散、PECVD等多種工序
技術指標
| 可檢測缺陷： | 隱裂、劃傷、污染、黑斑、吸盤印、皮帶印等 |
| 模塊產能： | ＞4500p/H |
| 相機類型： | 高清紅外線掃工業(yè)相機 |
| 適用電池片規(guī)格 | 156至210mm(±0.5mm) ， 160~200μm |
缺陷對比圖
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