單一探頭的多功能平臺(tái)結(jié)構(gòu)，集成掃描隧道(STM)、原子力(AFM)、摩擦力(LFM)和靜電力顯微鏡(EFM)功能，工作模式包括接觸、輕敲、相移成像等

的探針類型和掃描器的編碼——解碼智能識(shí)別技術(shù)，全數(shù)字控制的參數(shù)設(shè)置和采集

數(shù)字控制反饋回路，16-bit分辨的A/D和D/A

采用單一的外觸發(fā)時(shí)基和高速緩存，實(shí)現(xiàn)多通道信號(hào)的高速同步采集

采用基于TCP/IP協(xié)議的高速通信接口，實(shí)現(xiàn)雙處理器——雙操作系統(tǒng)的協(xié)同工作和大容量高速數(shù)據(jù)交換，使系統(tǒng)具有極大的開放性

系統(tǒng)內(nèi)部預(yù)留多個(gè)可供輸入/輸出信號(hào)的處理通道，具有方便的擴(kuò)展能力

系統(tǒng)外部預(yù)留標(biāo)準(zhǔn)開放接口，滿足用戶對(duì)儀器進(jìn)行二次開發(fā)的需求

具有I-V曲線和力曲線等測(cè)量分析功能

具有圖形刻蝕模式和矢量掃描模式的納米加工技術(shù)

具備超媒體用戶界面的納米操縱工具

用戶控制端軟件兼容Windows 9X/ME/NT/2000/XP/7/8/10操作系統(tǒng)

分析處理軟件在數(shù)據(jù)類型識(shí)別方面采用固定編碼和動(dòng)態(tài)編碼兩種技術(shù)，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的開放性和可擴(kuò)展性

掃描區(qū)域多種分辨率選擇及高度、對(duì)比度的實(shí)時(shí)調(diào)整，可連續(xù)采集、存儲(chǔ)和重現(xiàn)動(dòng)態(tài)過程

實(shí)時(shí)定點(diǎn)測(cè)試功能

方便的鼠標(biāo)控制掃描區(qū)域平移、剪切功能，掃描角度連續(xù)可調(diào)，多種樣品傾斜度實(shí)時(shí)校正功能

樣品粒度和粗糙自動(dòng)分析功能

分辨率： STM：橫向 0.13nm 垂直 0.01nm（以石墨定標(biāo)）
AFM：橫向 0.26nm 垂直 0.1nm （以云母定標(biāo)）

電流檢測(cè)靈敏度：≤10pA

力檢測(cè)靈敏度： ≤1nN

空間定位精度： ≤0.5nm

預(yù)留輸出信號(hào)通道數(shù)：6ch （1ch±200V，5ch±10V，16-bit DAC）

預(yù)留輸入信號(hào)通道數(shù)：16ch （100kHz采樣率，16-bit ADC，帶可控低通濾波器和可控增益放大器）

預(yù)留頻率合成輸出： 2ch （振幅為0～2V；頻率為DC～1000kHz，32-bit分辨）

集成STM、AFM和LFM等多種模式的掃描探頭

在線控制/后處理軟件

主流配置微機(jī)，預(yù)裝Windows操作系統(tǒng)

1μm × 1μm Scanner

20μm × 20μm Scanner

50μm × 50μm Scanner（選配）

70μm × 70μm Scanner（選配）

100μm×100μm Scanner（選配）

光學(xué)輔助顯微系統(tǒng)（選配）

可附加第二顯示器（選配）