圓度偏差（µm+µm/mm 測量高度）*

0,015 + 0,0003

圓度偏差（µm+µm/mm 測量高度）**

0,03 + 0,0006

軸向跳動偏差（µm+µm/mm 測量半徑）*

0.02 + 0.0001

軸向跳動偏差（µm+µm/mm 測量半徑）**

0,04 + 0,0006

調(diào)心調(diào)平工作臺

手動

工作臺直徑 (mm)

160

工作臺負(fù)載，居中 (N)

200

速度 (rpm) 50 Hz / 60 Hz

0.2-15

測量路徑，機(jī)動 (mm)，Z 軸

250

直線度偏差/100 mm 測量路徑 (µm)**，Z 軸

0.15

直線度偏差/總測量路徑 (µm)**，Z 軸

0.3

跟蹤方向的平行度偏差 Z-/C-軸 (µm)

測量速度 (mm/s)，Z 軸

0.5-30

定位速度 (mm/s)，Z 軸

0.5-100

定位路徑 (mm)，X 軸

150, 機(jī)動

定位速度 (mm/s)，X 軸

0.5-30